전자빔 증발원을 이용한 물질의 증발 특성 - 정재인(J. I. Jeong); 양지훈(J.H. Yang); 박혜선(H.S. Park); 정재훈(J.H. Jung); 송민아(M.A. Song) (Biuletyn Uniejowski, 2011)
Keywords: 기계공학; Thin films; Physical vapor deposition; Evaporation characteristics; Electron beam evaporation source; Crucible and crucible liner