박막 잔류응력 및 제조공정에 따른 금속박막층 미세크랙 영향 - 조병규; Byung-kyu Cho; 홍승찬; Seung-chan Hong; 김병삼; Byung-sam Kim; 천재경; Jae-kyung Cheon (대한금속·재료학회지, 58(3), 2020)
Keywords: capacitance sensor; micro-cracks; NFC; out-door handle; residual stress; sputtering; 재료공학