マイクロフォンアレイを用いた枚葉式半導体洗浄装置内に形成される大規模渦構造の検出

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Published in日本機械学会論文集 Vol. 83; no. 845; p. 16-00441
Main Authors 河内, 俊憲, 三好, 勇輝, 中野, 裕介, 永田, 靖典, 柳瀬, 眞一郎
Format Journal Article
LanguageJapanese
Published 一般社団法人 日本機械学会 2017
Subjects
Coherent structure
Differential pressure measurement
Flow stability
Rotating disk
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ISSN2187-9761
DOI10.1299/transjsme.16-00441

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ISSN:2187-9761
DOI:10.1299/transjsme.16-00441