イオンビーム照射ポリフッ化ビニリデン薄膜のエッチング挙動— エッチング前処理・照射イオン効果の検討 - 高橋, 周一; 前川, 康成; 越川, 博; 浅野, 雅春; 八巻, 徹也; 長谷川, 伸 (高分子論文集, 2008)