耐摩耗プローブによる走査型プローブリソグラフィの描画安定性とスループットの向上 - 年吉, 洋; 藤田, 博之; 李, 永芳; 杉山, 正和; 冨澤, 泰 (日本機械学会論文集, 2015)
Keywords: Anti-wear probe; Arrayed probes; Drawing ability; Parallel drawing; SPL; Throughput