ULSIデバイス作製プロセスにおけるプラズマ-固体表面相互作用 - 斧, 高一 (応用物理, 1999)
プラズマにより0.1μmレベルの微小な形状を高精度でエッチングするためには,プラズマにさらされたウエハー表面での物理化学現象,例えばプラズマ中で生成された活性種やイオンの表画での吸着・輸送・及応などに関する情報が不可欠となる.本稿では,ウエハー表面に入射する反応粒子,表面での笈1芯,および微細パターン内での粒子の輸送と反応過程に関するこれまでの情報をもとに,さらにエッチングの加工形状シミュレーションを通して,低圧力・高密度プラズマにさらされたウエハー表面に関する理解の現状と課題について解説する.具体例として,エッチングの微視的な均一性,特にエッチング速度や形状の微細パターンの幾何学的構造への依存性に焦点を当てる.