FIBを用いたTEM試料作製技術 - 松田, 竹善; 平山, 司; 佐々木, 宏和; 加藤, 丈晴 (顕微鏡, 2011)
Keywords: FIB; セラミックス; 化合物半導体; 電子線ホログラフィー; 高分解能像