ねじ溝型分子ポンプの排気特性

• Published in: 化学工学論文集 Vol. 19; no. 1; pp. 62 - 68
• Main Authors: 神吉, 達夫, 原田, 亨, 浅野, 強, 牧, 洋光, 江川, 亘, 坂本, 隆一, 松本, 隆夫, 樽谷, 勇
• Format: Journal Article
• Language: Japanese
• Published: 公益社団法人 化学工学会 01.01.1993

ねじ溝型分子ポンプのロータ矩形溝部およびスリーブ間隙における気体の流れに対する線形化Boltzmann方程式の数値解析結果を平滑化理論に適用して, 分子ポンプ内の圧力場を解析し, 到達圧力, 排気速度およびロータ回転数の関係を明らかにした.合わせて, ねじ溝分子ポンプを試作し, 補助圧力およびロータ回転数に対する到達圧力および排気速度を測定し, 計算結果と比較検討するとともにポンプの排気特性について考察した.また, 気体の種類による排気特性の差異についても明らかにした....