高温における単結晶シリコンの脆性-延性遷移と切削加工への応用
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| Published in | 日本機械学会論文集 C編 Vol. 64; no. 621; pp. 1854 - 1859 |
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| Main Authors | , , , |
| Format | Journal Article |
| Language | Japanese |
| Published |
一般社団法人 日本機械学会
1998
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| Online Access | Get full text |
| ISSN | 0387-5024 1884-8354 |
| DOI | 10.1299/kikaic.64.1854 |
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| Author | 吉田, 嘉太郎 永田, 典雄 森田, 昇 小林, 英治 |
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