Mn-Ir/Co-Fe 積層膜の構造と磁気特性に及ぼすスパッタガス種の影響

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Published inJournal of the Vacuum Society of Japan Vol. 51; no. 3; pp. 145 - 148
Main Authors 小野, 一修, 森田, 正, 三沢, 俊司, 今北, 健一, 小林, 慶子, 山本, 直志, 村上, 裕彦
Format Journal Article
LanguageJapanese
Published 一般社団法人 日本真空学会 2008
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ISSN1882-2398
1882-4749
DOI10.3131/jvsj2.51.145

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ISSN:1882-2398
1882-4749
DOI:10.3131/jvsj2.51.145