結晶組織に起因する銅配線の界面強度分布の試験片寸法効果 - 小岩, 康三; 神谷, 庄司; 鈴木, 貴志; 佐藤, 尚; 陳, 伝彤; 宍戸, 信之; 野久, 尾毅; 西田, 政弘; 中村, 友二; 大宮, 正毅; 鈴木, 俊明 (日本機械学会論文集Ａ編, 2013)