前駆体ポリカルボシランをマイクロポーラス炭化ケイ素系膜に変換する際の構造変化 - 内丸, 祐子; 藤原, 一郎; 原谷, 賢治; 須田, 洋幸; 山内, 洋幸 (Journal of the Ceramic Society of Japan (日本セラミックス協会学術論文誌), 2006)