サブミクロン二次イオン質量分析装置を用いるチタン添加極低炭素鋼中の非金属介在物粒子のキャラクタリゼーション

鋼中非金属介在物の除去や形態制御による鋼の清浄化や機能化は重要な課題であり,介在物粒子の生成過程の解明と起源探索手法の確立が必要である.一方,一次ビームにGa+収束イオンビームを用いたサブミクロン二次イオン質量分析(SIMS)装置は,高い切断加工能力と0.1μm以下の高空間分解能を有し,微小領域並びに数μm程度の微粒子に対する定量分析・三次元元素分布解析に大変有効である.著者らは介在物粒子のキャラクタリゼーション手法の確立を目的として,Ti添加極低炭素鋼中の介在物粒子に対し以下の分析を行った.始めに,電子線マイクロアナリシス法により任意の粒子に対して粒別分析を行い,供試鋼中の介在物が三タイプに...

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Published in分析化学 Vol. 45; no. 6; pp. 485 - 492
Main Authors 柴田, 達也, 冨安, 文武乃進, 二瓶, 好正, 尾張, 真則
Format Journal Article
LanguageJapanese
Published 公益社団法人 日本分析化学会 05.06.1996
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ISSN0525-1931
DOI10.2116/bunsekikagaku.45.485

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Abstract 鋼中非金属介在物の除去や形態制御による鋼の清浄化や機能化は重要な課題であり,介在物粒子の生成過程の解明と起源探索手法の確立が必要である.一方,一次ビームにGa+収束イオンビームを用いたサブミクロン二次イオン質量分析(SIMS)装置は,高い切断加工能力と0.1μm以下の高空間分解能を有し,微小領域並びに数μm程度の微粒子に対する定量分析・三次元元素分布解析に大変有効である.著者らは介在物粒子のキャラクタリゼーション手法の確立を目的として,Ti添加極低炭素鋼中の介在物粒子に対し以下の分析を行った.始めに,電子線マイクロアナリシス法により任意の粒子に対して粒別分析を行い,供試鋼中の介在物が三タイプに分類されることを明らかにした.次いで,各タイプの代表的な粒子に対してサブミクロンSIMS装置を用いて粒別定量分析を行い,粒内元素分布と任意断面の化学組成を得た.以上の分析結果から,供試鋼中に含まれる介在物粒子の生成過程に関する検討を行い重要な知見を得た.
AbstractList 鋼中非金属介在物の除去や形態制御による鋼の清浄化や機能化は重要な課題であり,介在物粒子の生成過程の解明と起源探索手法の確立が必要である.一方,一次ビームにGa+収束イオンビームを用いたサブミクロン二次イオン質量分析(SIMS)装置は,高い切断加工能力と0.1μm以下の高空間分解能を有し,微小領域並びに数μm程度の微粒子に対する定量分析・三次元元素分布解析に大変有効である.著者らは介在物粒子のキャラクタリゼーション手法の確立を目的として,Ti添加極低炭素鋼中の介在物粒子に対し以下の分析を行った.始めに,電子線マイクロアナリシス法により任意の粒子に対して粒別分析を行い,供試鋼中の介在物が三タイプに分類されることを明らかにした.次いで,各タイプの代表的な粒子に対してサブミクロンSIMS装置を用いて粒別定量分析を行い,粒内元素分布と任意断面の化学組成を得た.以上の分析結果から,供試鋼中に含まれる介在物粒子の生成過程に関する検討を行い重要な知見を得た.
Author 冨安, 文武乃進
二瓶, 好正
柴田, 達也
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4) H. Satoh, M. Owari, Y. Nihei : Jpn. J. Appl. Phys., 32, 3616 (1993).
14) 浜田広樹, 田口勇, 佐々木礼二 : 鉄と鋼, 70, 1051 (1984).
3) H. Satoh, M. Owari, Y. Nihei : J. Vac. Sci. Technol., B 6,915 (1988).
5) B. Tomiyasu, N. Mie, M. Owari, Y. Nihei : "Secondary Ion Mass Spectrometry IX", Edited by A. Benninghoven, Y. Nihei, R. Shimizu, H. W. Werner, p. 848 (1994), (John Wiley & Sons, New York).
12) 後藤裕規, 宮沢憲一, 山田亘, 田中和明 : 鉄と鋼, 80,113 (1994).
21) 日本鉄鋼協会編 : "溶鉄・溶滓の物性値便覧", (1972), (丸善).
6) 冨安文武乃進, 佐藤仁美, 尾張真則, 二瓶好正 : 分析化学(Bunseki Kagaku), 40,629 (1991).
13) 溝口庄三, 高村仁一 : 材料とプロセス, 3,277 (1990).
1) Y. Nihei, H. Satoh, S. Tatsuzawa, M. Owari, R. Aihara, K. Azuma, Y. Kammei : J. Vac. Sci. Technol., A 5, 1254 (1987).
15) 日本学術振興会製鋼第19委員会・非金属介在物小委員会編 : "鋼中非金属介在物研究の最近の展開", p. 233 (1993).
16) 千野淳 : ぶんせき, 1995, 50.
10) 奥村圭二, 平澤政廣, 佐野正道, 森一美, 袴田成彦, 北澤真 : 鉄と鋼, 80,107 (1994).
17) B. Tomiyasu, T. Shibata, M. Owari, Y. Nihei : "Secondary Ion Mass Spectrometry X", in press, (1996), (John Wiley & Sons, New York).
9) 谷口尚司, 菊池淳 : 鉄と鋼, 78,527 (1992).
7) B. Tomiyasu, M. Owari, Y. Nihei : "Secondary Ion Mass Spectrometry IX", Edited by A. Benninghoven, Y. Nihei, R. Shimizu, H. W. Werner, p. 565 (1994), (John Wiley & Sons, New York).
22) 北村信也, 宮村紘, 福岡功博 : 鉄と鋼, 73,677 (1987).
8) 冨安文武乃進, 稲見晃宏, 阿部雅一, 二瓶好正 : 鉄と鋼, 81,977 (1995).
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