集束イオンビームによる試料作製とビームダメージ層除去

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Published in顕微鏡 Vol. 42; no. 2; pp. 131 - 135
Main Authors 加藤, 丈晴, 佐々木, 宏和, 平山, 司
Format Journal Article
LanguageJapanese
Published 公益社団法人 日本顕微鏡学会 2007
Subjects
Arイオンミリング
FIB
ダメージ層除去
電子線ホログラフィー
高分解能観察
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ISSN1349-0958
2434-2386
DOI10.11410/kenbikyo2004.42.131

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ISSN:1349-0958
2434-2386
DOI:10.11410/kenbikyo2004.42.131