化学镀技术在超大规模集成电路互连线制造过程的应用 - 王增林; 刘志鹃; 姜洪艳; 王秀文; 新宫原 正三 (电化学, 2006)
Keywords: 化学镀铜; 防扩散层; 种子层; 超级化学镀; 大马士革铜互连线