用规整膜板对砷化镓的三维微结构图形加工刻蚀 - 黄海苟; 孙建军; 叶雄英; 蒋利民; 罗瑾; 卢泽生; 董申; 田中群; 周兆英; 田昭武 (电化学, 2000)
Keywords: 约束刻蚀剂层技术; 微加工; GaAs; 捕捉剂