The electrical, optical properties of AlSb polycrystalline thin films deposited by magnetron co-sputtering without annealing - 黄征 武莉莉 黎兵 郝霞 贺剑雄 冯良桓 李卫 张静全 蔡亚平 (Chinese physics B, 2010)
Keywords: AlSb; 光学特性; 基板温度; 多晶薄膜; 平均晶粒尺寸; 磁控共溅射