Microstructure and lateral conductivity control of hydrogenated nanocrystalline silicon oxide and its application in a-Si：H/a-SiGe：H tandem solar cells - 郑志远 张思齐 梁田 高禄 高华 张自力 李天天 杨铁 方家 张德坤 孙建 魏长春 许盛之 王广才 刘彩池 赵颖 张晓丹 (Chinese physics B, 2016)
Keywords: Deposition; Microstructure; Nanocrystals; Photovoltaic cells; Reflectors; Silicon dioxide; Solar cells; Solar power generation; 串联; 太阳能电池; 射频等离子体增强化学气相沉积; 控制结构; 电导率; 电沉积过程; 纳米氧化硅; 非晶硅薄膜