Micro-Mechanism of Silicon-Based Waveguide Surface Smoothing in Hydrogen Annealing - 段倩倩 任馨宇 菅傲群 张辉 冀健龙 张强 张文栋 桑胜波 (Chinese physics letters, 2016)
Keywords: 原子状态; 平滑; 微观机理; 氢退火; 硅基波导; 表面形貌; 表面粗糙度; 表面迁移