Angle-resolved x-ray photoelectron spectroscopy study of GeOx growth by plasma post-oxidation - 赵治乾 张静 王晓磊 魏淑华 赵超 王文武 (中国物理B：英文版, 2017)
Keywords: PPO; 互补金属氧化物半导体; 生长机理; 生长过程; 离子氧化; 等离子体氧化; 角分辨光电子能谱; 金属氧化物半导体场效应晶体管