산화물 소결체 및 그 제조 방법, 스퍼터 타겟, 산화물 반도체막, 그리고 반도체 디바이스의 제조 방법
WATATANI KENICHI, TOMINAGA AIKO, TOKUDA KAZUYA, MIYANAGA MIKI, AWATA HIDEAKI
Year of Publication 29.01.2020
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Patent
산화물 소결체 및 그 제조 방법, 스퍼터 타겟, 그리고 반도체 디바이스의 제조 방법
WATATANI KENICHI, TOMINAGA AIKO, TOKUDA KAZUYA, MIYANAGA MIKI, AWATA HIDEAKI
Year of Publication 04.07.2019
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