진공 챔버 내에서의 캐리어 정렬을 위한 장치 및 진공 시스템, 및 캐리어를 정렬하는 방법
HEYMANNS MATTHIAS, BANGERT STEFAN, OLDENDORF ULRICH, HUWIG ACHIM, VERCESI TOMMASO
Year of Publication 15.10.2019
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Patent
마스크 어레인지먼트를 핸들링하는 방법, 마스크 어레인지먼트의 광학 검사를 위한 기준 기판, 및 진공 증착 시스템
HEYMANNS MATTHIAS, BANGERT STEFAN, ZANG SEBASTIAN GUNTHER, VERCESI TOMMASO
Year of Publication 25.09.2019
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Patent
기판을 프로세싱하기 위한 방법, 진공 프로세싱을 위한 장치, 및 진공 프로세싱 시스템
HEYMANNS MATTHIAS, BANGERT STEFAN, ZANG SEBASTIAN GUNTHER, VERCESI TOMMASO
Year of Publication 25.09.2019
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Patent
기판의 자동 광학 검사를 위한 장치 및 방법
HEYMANNS MATTHIAS, BANGERT STEFAN, ZANG SEBASTIAN GUNTHER, VERCESI TOMMASO
Year of Publication 24.09.2019
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Patent
카메라 초점 거리를 사용한 절대 및 상대 깊이 측정들을 위한 방법들 및 장치
SCHULZE PATRICIA A, FREEMAN GREGORY J, CELIK OZKAN, WIRTH PAUL Z, VERCESI TOMMASO
Year of Publication 11.01.2021
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Patent
MASK ARRANGEMENT FOR MASKING A SUBSTRATE IN A PROCESSING CHAMBER APPARATUS FOR DEPOSITING A LAYER ON A SUBSTRATE AND METHOD FOR ALIGNING A MASK ARRANGEMENT FOR MASKING A SUBSTRATE IN A PROCESSING CHAMBER
LOPP ANDREAS, HAAS DIETER, GISLON DANIELE, BANGERT STEFAN, HEIMEL OLIVER, VERCESI TOMMASO
Year of Publication 09.09.2019
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Patent
ACTIVELY-ALIGNED FINE METAL MASK
LOPP ANDREAS, HAAS DIETER, VISSER ROBERT, WHITE JOHN M, VERCESI TOMMASO
Year of Publication 19.04.2019
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Patent
기판 캐리어 및 마스크 캐리어를 위한 포지셔닝 어레인지먼트, 기판 캐리어 및 마스크 캐리어를 위한 이송 시스템, 및 이를 위한 방법들
SAUER ANDREAS, HEYMANNS MATTHIAS, BANGERT STEFAN, HEIMEL OLIVER, HENRICH JUERGEN, VERCESI TOMMASO
Year of Publication 19.10.2018
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Patent
MASK ARRANGEMENT FOR MASKING A SUBSTRATE IN A PROCESSING CHAMBER
LOPP ANDREAS, HAAS DIETER, GISLON DANIELE, BANGERT STEFAN, HEIMEL OLIVER, VERCESI TOMMASO
Year of Publication 11.08.2017
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Patent