FLUID HANDLING STRUCTURE FOR LITHOGRAPHIC APPARATUS
TEUNISSEN MARCEL MARIA CORNELIUS FRANCISCUS, VAN VLIET EVERT, KEUKENS FLOOR LODEWIJK, TEN KATE NICOLAAS, ROPS CORNELIUS MARIA, CUYPERS KOEN, TANASA GHEORGHE, VAN DEN EIJNDEN PEPIJN, VAN ERVE JANTIEN LAURA, FRENCKEN MARK JOHANNES HERMANUS, GATTOBIGIO GIOVANNI LUCA, POLET THEODORUS WILHELMUS, BUDDENBERG HAROLD SEBASTIAAN, CORTIE ROGIER HENDRIKUS MAGDALENA
Year of Publication 26.01.2021
Get full text
Year of Publication 26.01.2021
Patent
리소그래피 장치를 위한 유체 처리 구조물
TEUNISSEN MARCEL MARIA CORNELIUS FRANCISCUS, VAN VLIET EVERT, KEUKENS FLOOR LODEWIJK, TEN KATE NICOLAAS, ROPS CORNELIUS MARIA, CUYPERS KOEN, TANASA GHEORGHE, VAN DEN EIJNDEN PEPIJN, VAN ERVE JANTIEN LAURA, FRENCKEN MARK JOHANNES HERMANUS, GATTOBIGIO GIOVANNI LUCA, POLET THEODORUS WILHELMUS, BUDDENBERG HAROLD SEBASTIAAN, CORTIE ROGIER HENDRIKUS MAGDALENA
Year of Publication 24.04.2019
Get full text
Year of Publication 24.04.2019
Patent
Fluid handling structure for lithographic apparatus
Tanasa, Gheorghe, Rops, Cornelius Maria, Cuypers, Koen, Keukens, Floor Lodewijk, Frencken, Mark Johannes Hermanus, Gattobigio, Giovanni Luca, Cortie, Rogier Hendrikus Magdalena, Ten Kate, Nicolaas, Van Vliet, Evert, Teunissen, Marcel Maria Cornelius Franciscus, Buddenberg, Harold Sebastiaan, Polet, Theodorus Wilhelmus, Van Erve, Jantien Laura, Van Den Eijnden, Pepijn
Year of Publication 02.01.2024
Get full text
Year of Publication 02.01.2024
Patent
FLUID HANDLING STRUCTURE FOR LITHOGRAPHIC APPARATUS
CORTIE, Rogier Hendrikus Magdalena, POLET, Theodorus Wilhelmus, TEUNISSEN, Marcel Maria Cornelius Franciscus, TEN KATE, Nicolaas, CUYPERS, Koen, KEUKENS, Floor Lodewijk, FRENCKEN, Mark Johannes Hermanus, BUDDENBERG, Harold Sebastiaan, TANASA, Gheorghe, VAN DEN EIJNDEN, Pepijn, GATTOBIGIO, Giovanni Luca, VAN ERVE, Jantien Laura, VAN VLIET, Evert, ROPS, Cornelius Maria
Year of Publication 23.02.2023
Get full text
Year of Publication 23.02.2023
Patent
FLUID HANDLING STRUCTURE FOR LITHOGRAPHIC APPARATUS
CORTIE, Rogier Hendrikus Magdalena, POLET, Theodorus Wilhelmus, TEUNISSEN, Marcel Maria Cornelius Franciscus, TEN KATE, Nicolaas, CUYPERS, Koen, KEUKENS, Floor Lodewijk, FRENCKEN, Mark Johannes Hermanus, BUDDENBERG, Harold Sebastiaan, TANASA, Gheorghe, VAN DEN EIJNDEN, Pepijn, GATTOBIGIO, Giovanni Luca, VAN ERVE, Jantien Laura, VAN VLIET, Evert, ROPS, Cornelius Maria
Year of Publication 05.10.2022
Get full text
Year of Publication 05.10.2022
Patent
Fluid handling structure for lithographic apparatus
Tanasa, Gheorghe, Rops, Cornelius Maria, Cuypers, Koen, Keukens, Floor Lodewijk, Frencken, Mark Johannes Hermanus, Gattobigio, Giovanni Luca, Cortie, Rogier Hendrikus Magdalena, Ten Kate, Nicolaas, Van Vliet, Evert, Teunissen, Marcel Maria Cornelius Franciscus, Buddenberg, Harold Sebastiaan, Polet, Theodorus Wilhelmus, Van Erve, Jantien Laura, Van Den Eijnden, Pepijn
Year of Publication 27.09.2022
Get full text
Year of Publication 27.09.2022
Patent
FLUID HANDLING STRUCTURE FOR LITHOGRAPHIC APPARATUS
CORTIE, Rogier Hendrikus Magdalena, POLET, Theodorus Wilhelmus, TEUNISSEN, Marcel Maria Cornelius Franciscus, TEN KATE, Nicolaas, CUYPERS, Koen, KEUKENS, Floor Lodewijk, FRENCKEN, Mark Johannes Hermanus, BUDDENBERG, Harold Sebastiaan, TANASA, Gheorghe, VAN DEN EIJNDEN, Pepijn, GATTOBIGIO, Giovanni Luca, VAN ERVE, Jantien Laura, VAN VLIET, Evert, ROPS, Cornelius Maria
Year of Publication 26.08.2021
Get full text
Year of Publication 26.08.2021
Patent
Fluid handling structure for lithographic apparatus
Tanasa, Gheorghe, Rops, Cornelius Maria, Cuypers, Koen, Keukens, Floor Lodewijk, Frencken, Mark Johannes Hermanus, Gattobigio, Giovanni Luca, Cortie, Rogier Hendrikus Magdalena, Ten Kate, Nicolaas, Van Vliet, Evert, Teunissen, Marcel Maria Cornelius Franciscus, Buddenberg, Harold Sebastiaan, Polet, Theodorus Wilhelmus, Van Erve, Jantien Laura, Van Den Eijnden, Pepijn
Year of Publication 08.06.2021
Get full text
Year of Publication 08.06.2021
Patent
FLUID HANDLING STRUCTURE FOR LITHOGRAPHIC APPARATUS
POLET, Theodorus Wilhelmus, TEN KATE, Nicolaas, CUYPERS, Koen, TEUNISSEN, Marcel Maria Cornelius Franciscu, KEUKENS, Floor Lodewijk, FRENCKEN, Mark Johannes Hermanus, BUDDENBERG, Harold Sebastiaan, TANASA, Gheorghe, VAN DEN EIJNDEN, Pepijn, CORTIE, Rogier Hendrikus Magdalen, GATTOBIGIO, Giovanni Luca, VAN ERVE, Jantien Laura, VAN VLIET, Evert, ROPS, Cornelius Maria
Year of Publication 31.12.2020
Get full text
Year of Publication 31.12.2020
Patent
Lithographic apparatus
Liebregts, Paulus Martinus Maria, Eummelen, Erik Henricus Egidius Catharina, Grouwstra, Cédric Désiré, Verhees, Remko Jan Peter, Leenders, Martinus Hendrikus Antonius, Koppelaars, Nicolaas Franciscus, Philips, Danny Maria Hubertus, Mulder, Pieter, Van Den Dungen, Clemens Johannes Gerardus, Van Vliet, Evert, Mulkens, Johannes Catharinus Hubertus, Moerman, Richard, Beckers, Marcel
Year of Publication 12.05.2020
Get full text
Year of Publication 12.05.2020
Patent
FLUID HANDLING STRUCTURE FOR LITHOGRAPHIC APPARATUS
CORTIE, Rogier Hendrikus Magdalena, POLET, Theodorus Wilhelmus, TEUNISSEN, Marcel Maria Cornelius Franciscus, TEN KATE, Nicolaas, CUYPERS, Koen, KEUKENS, Floor Lodewijk, FRENCKEN, Mark Johannes Hermanus, BUDDENBERG, Harold Sebastiaan, TANASA, Gheorghe, VAN DEN EIJNDEN, Pepijn, GATTOBIGIO, Giovanni Luca, VAN ERVE, Jantien Laura, VAN VLIET, Evert, ROPS, Cornelius Maria
Year of Publication 17.07.2019
Get full text
Year of Publication 17.07.2019
Patent
FLUID HANDLING STRUCTURE FOR LITHOGRAPHIC APPARATUS
TEUNISSEN, Marcel, Maria, Cornelius, Franciscus, CORTIE, Rogier, Hendrikus, Magdalena, TEN KATE, Nicolaas, CUYPERS, Koen, BUDDENBERG, Harold, Sebastiaan, KEUKENS, Floor, Lodewijk, ROPS, Cornelius, Maria, VAN ERVE, Jantien, Laura, TANASA, Gheorghe, VAN DEN EIJNDEN, Pepijn, POLET, Theodorus, Wilhelmus, FRENCKEN, Mark, Johannes, Hermanus, GATTOBIGIO, Giovanni, Luca, VAN VLIET, Evert
Year of Publication 15.03.2018
Get full text
Year of Publication 15.03.2018
Patent
FLUID HANDLING STRUCTURE FOR LITHOGRAPHIC APPARATUS
MARK JOHANNES HERMANUS FRENCKEN, THEODORUS WILHELMUS POLET, ROGIER HENDRIKUS MAGDALENA CORTIE, HAROLD SEBASTIAAN BUDDENBERG, EVERT VAN VLIET, GIOVANNI LUCA GATTOBIGIO, JANTIEN LAURA VAN ERVE, NICOLAAS TEN KATE, GHEORGHE TANASA, KOEN CUYPERS, PEPIJN VAN DEN EIJNDEN, FLOOR LODEWIJK KEUKENS, CORNELIUS MARIA ROPS, MARRCEL MARIA CORNELIUS FRANCISCUS TEUNISSEN
Year of Publication 15.03.2018
Get full text
Year of Publication 15.03.2018
Patent
LITHOGRAPHIC APPARATUS
Leenders Martinus Hendrikus Antonius, Eummelen Erik Henricus Egidius Catharina, Liebregts Paulus Martinus Maria, Beckers Marcel, VAN DEN DUNGEN Clemens Johannes Gerardus, Van Vliet Evert, Moerman Richard, Verhees Remko Jan Peter, Koppelaars Nicolaas Franciscus, Mulkens Johannes Catharinus Hubertus, Mulder Pieter, Philips Danny Maria Hubertus, Grouwstra Cédric Désiré
Year of Publication 26.01.2017
Get full text
Year of Publication 26.01.2017
Patent
Lithographic apparatus
Leenders Martinus Hendrikus Antonius, Eummelen Erik Henricus Egidius Catharina, Liebregts Paulus Martinus Maria, Beckers Marcel, Van Den Dungen Clemens Johannes Gerardus, Van Vliet Evert, Moerman Richard, Verhees Remko Jan Peter, Koppelaars Nicolaas Franciscus, Mulkens Johannes Catharinus Hubertus, Mulder Pieter, Philips Danny Maria Hubertus, Grouwstra Cédric Désiré
Year of Publication 11.10.2016
Get full text
Year of Publication 11.10.2016
Patent
Fluid handling structure for lithography equipment and immersion lithography equipment
TEUNISSEN MARCEL MARIA CORNELIUS FRANCISCUS, VAN VLIET EVERT, KEUKENS FLOOR LODEWIJK, TEN KATE NICOLAAS, ROPS CORNELIUS MARIA, CUYPERS KOEN, TANASA GHEORGHE, VAN DEN EIJNDEN PEPIJN, VAN ERVE JANTIEN LAURA, FRENCKEN MARK JOHANNES HERMANUS, GATTOBIGIO GIOVANNI LUCA, POLET THEODORUS WILHELMUS, BUDDENBERG HAROLD SEBASTIAAN, CORTIE ROGIER HENDRIKUS MAGDALENA
Year of Publication 23.07.2021
Get full text
Year of Publication 23.07.2021
Patent
LITHOGRAPHIC APPARATUS
LIEBREGTS PAULUS MARTINUS MARIA, BECKERS MARCEL, GROUWSTRA CÉDRIC DÉSIRÉ, VERHEES REMKO JAN PETER, VAN VLIET EVERT, MULKENS JOHANNES CATHARINUS HUBERTUS, LEENDERS MARTINUS HENDRIKUS ANTONIUS, MOERMAN RICHARD, EUMMELEN ERIK HENRICUS EGIDIUS CATHARINA, MULDER PIETER, VAN DEN DUNGEN CLEMENS JOHANNES GERARDUS, PHILIPS DANNY MARIA HUBERTUS, KOPPELAARS NICOLAAS FRANCISCUS
Year of Publication 20.08.2015
Get full text
Year of Publication 20.08.2015
Patent
Lithographic apparatus
LIEBREGTS PAULUS MARTINUS MARIA, BECKERS MARCEL, GROUWSTRA CÉDRIC DÉSIRÉ, VERHEES REMKO JAN PETER, VAN VLIET EVERT, MULKENS JOHANNES CATHARINUS HUBERTUS, LEENDERS MARTINUS HENDRIKUS ANTONIUS, MOERMAN RICHARD, EUMMELEN ERIK HENRICUS EGIDIUS CATHARINA, MULDER PIETER, VAN DEN DUNGEN CLEMENS JOHANNES GERARDUS, PHILIPS DANNY MARIA HUBERTUS, KOPPELAARS NICOLAAS FRANCISCUS
Year of Publication 19.05.2015
Get full text
Year of Publication 19.05.2015
Patent
FLUID HANDLING STRUCTURE FOR LITHOGRAPHIC APPARATUS
TEUNISSEN MARCEL MARIA CORNELIUS FRANCISCUS, VAN VLIET EVERT, KEUKENS FLOOR LODEWIJK, TEN KATE NICOLAAS, ROPS CORNELIUS MARIA, CUYPERS KOEN, TANASA GHEORGHE, VAN DEN EIJNDEN PEPIJN, VAN ERVE JANTIEN LAURA, FRENCKEN MARK JOHANNES HERMANUS, GATTOBIGIO GIOVANNI LUCA, POLET THEODORUS WILHELMUS, BUDDENBERG HAROLD SEBASTIAAN, CORTIE ROGIER HENDRIKUS MAGDALENA
Year of Publication 26.04.2019
Get full text
Year of Publication 26.04.2019
Patent
Fluid handling structure for lithographic apparatus
KEUKENS, FLOOR LODEWIJK, VAN VLIET, EVERT, TEUNISSEN, MARCEL MARIA CORNELIUS FRANCISCUS, ROPS, CORNELIUS MARIA, TEN KATE, NICOLAAS, FRENCKEN, MARK JOHANNES HERMANUS, VAN ERVE, JANTIEN LAURA, TANASA, GHEORGHE, GATTOBIGIO, GIOVANNI LUCA, CORTIE, ROGIER HENDRIKUS MAGDALENA, CUYPERS, KOEN, VAN DEN EIJNDEN, PEPIJN, POLET, THEODORUS WILHELMUS, BUDDENBERG, HAROLD SEBASTIAAN
Year of Publication 11.04.2019
Get full text
Year of Publication 11.04.2019
Patent