Method for preventing contamination and lithographic device
VAN MIERLO BART H, VAN DE RUNSTRAAT ANNEMIEKE, WEDOWSKI MARCO, KOSTER NORBERT B, VAN ELP JAN, DUISERWINKEL ANTON E, MERTENS BAS M, WOLSCHRIJN BAS T, WEISS MARKUS
Year of Publication 08.03.2007
Get full text
Year of Publication 08.03.2007
Patent
SUPPORTING STRUCTURE, LITHOGRAPHIC PROJECTION APPARATUS, AND METHOD OF MANUFACTURING DEVICE
TINNEMANS PATRICIUS ALOYSIUS J, VAN DEN BERG JOHANNES CHARLES ADRIANUS, VAN DE SANDE HENRICUS JOHANNES ADRIANUS, VAN MEER ASCHWIN LODEWIJK HENDRICUS JOHANNES, SMULDERS PATRICK JOHANNES CORNELUS HENDRIK, VAN ELP JAN, SPANJERS FRANCISCUS ANDREAS CORNELIS JOHANNES, VERMEULEN JOHANNES PETRUS MARTINUS BERNARDUS, VERVOORT THIJS, TEGENBOSCH HENRICUS GERARDUS, BUIS EDWIN JOHAN, HOOGKAMP JAN FREDERIK, DONDERS SJOERD NICOLAAS LAMBERTUS, VISSER RAIMOND
Year of Publication 20.12.2007
Get full text
Year of Publication 20.12.2007
Patent
LITHOGRAPHIC APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
GIESEN, PETER, THEODORUS, MARIA, OTTENS, JOOST, JEROEN, MOORS, JOHANNES, HUBERTUS, JOSEPHINA, VAN ELP, JAN, VAN ZWET, ERWIN, JOHN, LE KLUSE, MARCO, KUIPERS, LEO, WILHELMUS, MARIA, NEERHOF, HENDRIK, ANTONY, JOHANNES, DE GROOF, ADRIANUS, MATHIJS, MARIA
Year of Publication 02.02.2006
Get full text
Year of Publication 02.02.2006
Patent
LITHOGRAPHIC APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
GIESEN, PETER, THEODORUS, MARIA, OTTENS, JOOST, JEROEN, DE GROOT, ADRIANUS, MATHIJS, MARIA, MOORS, JOHANNES, HUBERTUS, JOSEPHINA, VAN ELP, JAN, VAN ZWET, ERWIN, JOHN, LE KLUSE, MARCO, KUIPERS, LEO, WILHELMUS, MARIA, NEERHOF, HENDRIK, ANTONY, JOHANNES
Year of Publication 23.06.2005
Get full text
Year of Publication 23.06.2005
Patent
Supporting structure for use in a lithographic apparatus
MEER VAN ASCHWIN LODEWIJK HENDRICUS JOHANNES, SMULDERS PATRICK JOHANNES CORNELUS HENDRIK, BERG VAN DEN JOHANNES CHARLES ADRIANUS, VERMEULEN JOHANNES PETRUS MARTINUS BERNARDUS, VERVOORT THIJS, ELP VAN JAN, TEGENBOSCH HENRICUS GERARDUS, SANDE VAN DE HENRICUS JOHANNES ADRIANUS, BUIS EDWIN JOHAN, TINNEMANS PATRICIUS ALOYSIUS JACOBUS, HOOGKAMP JAN FREDERIK, DONDERS SJOERD NICOLAAS LAMBERTUS, SPNAJERS FRANCISCUS ANDREAS CORNELIS JOHANNES, VISSER RAIMOND
Year of Publication 30.10.2006
Get full text
Year of Publication 30.10.2006
Patent
Supporting structure for use in a lithographic apparatus
BUIS, EDWIN JOHAN, VERMEULEN, JOHANNES PETRUS MARTINUS BERNARDUS, VISSER, RAIMOND, VAN ELP, JAN, TINNEMANS, PATRICIUS ALOYSIUS JACOBUS, VAN MEER, ASCHWIN LODEWIJK HENDRICUS JOHANNES, VERVOORT, THIJS, DONDERS, SJOERD NICOLAAS LAMBERTUS, VAN DEN BERG, JOHANNES CHARLES ADRIANUS, VAN DE SANDE, HENRICUS JOHANNES ADRIANUS, SPANJERS, FRANCISCUS ANDREAS CORNELIS JOHANNES, HOOGKAMP, JAN FREDERIK, SMULDERS, PATRICK JOHANNES CORNELUS HENDRIK, TEGENBOSCH, HENRICUS GERARDUS
Year of Publication 22.12.2004
Get full text
Year of Publication 22.12.2004
Patent
Lithographic support structure
Buis, Edwin, Tinnemans, Patricius, Donders, Sjoerd, Van Elp, Jan, Hoogkamp, Jan, Van Meer, Aschwin Lodewijk Hendricus, Smulders, Patrick Johannes Cornelus Hendrik, Spanjers, Franciscus Andreas Cornelis Johannes, Vermeulen, Johannes Petrus Martinus Bernardus, Visser, Raimond, Tegenbosch, Henricus, Van Den Berg, Johannes, Van De Sande, Henricus Johannes Adrianus, Vervoort, Thijs
Year of Publication 09.12.2004
Get full text
Year of Publication 09.12.2004
Patent
Lithographic support structure
VAN DEN BERG JOHANNES CHARLES ADRIANUS, VAN DE SANDE HENRICUS JOHANNES ADRIANUS, VAN MEER ASCHWIN LODEWIJK HENDRICUS JOHANNES, SMULDERS PATRICK JOHANNES CORNELUS HENDRIK, VAN ELP JAN, SPANJERS FRANCISCUS ANDREAS CORNELIS JOHANNES, VERMEULEN JOHANNES PETRUS MARTINUS BERNARDUS, VERVOORT THIJS, TEGENBOSCH HENRICUS GERARDUS, BUIS EDWIN JOHAN, TINNEMANS PATRICIUS ALOYSIUS JACOBUS, HOOGKAMP JAN FREDERIK, DONDERS SJOERD NICOLAAS LAMBERTUS, VISSER RAIMOND
Year of Publication 09.12.2004
Get full text
Year of Publication 09.12.2004
Patent
SUPPORT STRUCTURE FOR USE IN LITHOGRAPHIC APPARATUS
TINNEMANS PATRICIUS ALOYSIUS J, VAN DEN BERG JOHANNES CHARLES ADRIANUS, VAN DE SANDE HENRICUS JOHANNES ADRIANUS, VAN MEER ASCHWIN LODEWIJK HENDRICUS JOHANNES, SMULDERS PATRICK JOHANNES CORNELUS HENDRIK, VAN ELP JAN, SPANJERS FRANCISCUS ANDREAS CORNELIS JOHANNES, VERMEULEN JOHANNES PETRUS MARTINUS BERNARDUS, VERVOORT THIJS, TEGENBOSCH HENRICUS GERARDUS, BUIS EDWIN JOHAN, HOOGKAMP JAN FREDERIK, DONDERS SJOERD NICOLAAS LAMBERTUS, VISSER RAIMOND
Year of Publication 02.12.2004
Get full text
Year of Publication 02.12.2004
Patent
Supporting structure for use in a lithographic apparatus
BUIS, EDWIN JOHAN, VERMEULEN, JOHANNES PETRUS MARTINUS BERNARDUS, VISSER, RAIMOND, VAN ELP, JAN, TINNEMANS, PATRICIUS ALOYSIUS JACOBUS, VAN MEER, ASCHWIN LODEWIJK HENDRICUS JOHANNES, VERVOORT, THIJS, DONDERS, SJOERD NICOLAAS LAMBERTUS, VAN DEN BERG, JOHANNES CHARLES ADRIANUS, VAN DE SANDE, HENRICUS JOHANNES ADRIANUS, SPANJERS, FRANCISCUS ANDREAS CORNELIS JOHANNES, HOOGKAMP, JAN FREDERIK, SMULDERS, PATRICK JOHANNES CORNELUS HENDRIK, TEGENBOSCH, HENRICUS GERARDUS
Year of Publication 06.10.2004
Get full text
Year of Publication 06.10.2004
Patent
Supporting structure used for photoetching equipment
TEGENBOSCH HENRICUS GERARD, VERMEULEN JOHANNES PETRUS MART, BUIS EDWIN JOHAN, VAN ELP JAN, HOOGKAMP JAN FREDERIK, DONDERS SJOERD NICOLAAS LAMBER, VISSER RAIMOND, SMULDERS PATRICK JOHANNES CORN, VAN MEER ASCHVVIN LODEWIJK HEND
Year of Publication 27.05.2009
Get full text
Year of Publication 27.05.2009
Patent
Lithographic apparatus and device manufacturing method
DE GROOF, ADRIANUS MATHIJS MARIA, KUIPERS, LEO WILHELMUS MARIA, NEERHOF, HENDRIK ANTONY JOHANNES, GIESEN, PETER THEODORUS MARIA, VAN ELP, JAN, VAN ZWET, ERWIN JOHN, LE KLUSE, MARCO, OTTENS, JOOST JEROEN, MOORS, JOHANNES HUBERTUS JOSEPHINA
Year of Publication 16.10.2005
Get full text
Year of Publication 16.10.2005
Patent
Supporting structure for use in a lithographic apparatus
BUIS, EDWIN JOHAN, VERMEULEN, JOHANNES PETRUS MARTINUS BERNARDUS, VISSER, RAIMOND, VAN ELP, JAN, TINNEMANS, PATRICIUS ALOYSIUS JACOBUS, VAN MEER, ASCHWIN LODEWIJK HENDRICUS JOHANNES, VERVOORT, THIJS, DONDERS, SJOERD NICOLAAS LAMBERTUS, VAN DEN BERG, JOHANNES CHARLES ADRIANUS, VAN DE SANDE, HENRICUS JOHANNES ADRIANUS, SPANJERS, FRANCISCUS ANDREAS CORNELIS JOHANNES, HOOGKAMP, JAN FREDERIK, SMULDERS, PATRICK JOHANNES CORNELUS HENDRIK, TEGENBOSCH, HENRICUS GERARDUS
Year of Publication 16.02.2005
Get full text
Year of Publication 16.02.2005
Patent