by Witvrouw, A., Haspeslagh, L., Pedreira, O.V., De Coster, J., De Wolf, I., Tilmans, H.A.C., Bearda, T., Schlatmann, B., van Bommel, M., de Nooijer, M.-C., Magnee, P.H.C., Lous, E.J., Hagting, M., Lauria, J., Vanneer, R., van Drieenhuizen, B.
Published in Journal of microelectromechanical systems (01.02.2010)

by Witvrouw, A., Tilmans, H.A.C., Bogaerts, L., De Moor, P., Bearda, T., Halder, S., Haspeslagh, L., Schlatmann, B., van Bommel, M., de Nooijer, C., Lauria, J., Vanneer, R., van Drieenhuizen, B.
Published in 2009 IEEE 22nd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (01.01.2009)