Micron-sized fracture experiments on amorphous SiOx films and SiOx/SiNx multi-layers
Matoy, Kurt, Schönherr, Helmut, Detzel, Thomas, Dehm, Gerhard
Published in Thin solid films (02.08.2010)
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Journal Article
Steuern des Reflow-Verhaltens von BPSG-Filmen und hiermit hergestellte Vorrichtungen
Joshi, Ravi Keshav, Hütter, Harald, Kahn, Markus, Pölzl, Martin, Schönherr, Helmut, Hofer, Heimo, Steinbrenner, Jürgen
Year of Publication 28.07.2016
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Patent
Kohlenstoffschichten für Hochtemperaturprozesse
SCHÖNHERR, HELMUT, DENIFL, GÜNTER, GRILLE, THOMAS, MÖNNICH, ROLAND, HEDENIG, URSULA, KÜNLE, MATTHIAS, MAURER, DANIEL, HIRSCHLER, JOACHIM, KAHN, MARKUS
Year of Publication 13.11.2014
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Patent
Passivierungsschicht und Verfahren zum Herstellen einer Passivierungsschicht
STEINBRENNER, JÜRGEN, SCHÖNHERR, HELMUT, WELLENZOHN, ELFRIEDE, BRUNNER, CHRISTOPH, GIETLER, HERBERT, FISTER, SILVANA, HÖCKELE, UWE, MATOY, KURT, KAHN, MARKUS, KRENN, CHRISTIAN, MAIER, HUBERT
Year of Publication 30.04.2014
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Patent
HALBLEITERVORRICHTUNG MIT KONTAKT-PAD-STRUKTUR
Hilsenbeck, Jochen, Soellradl, Thomas, Gaisberger, Richard, Schoenherr, Helmut, Friedler, Sophia, Roth, Roman, Steinbrenner, Jürgen
Year of Publication 05.10.2023
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Patent