EINRICHTUNG ZUM BEHANDELN VON SUBSTRATEN IM PLASMA
HEISIG, ULLRICH. NAT, STUDENT, HANS-JOCHEN, WEBER, ULF, GOEDICKE, KLAUS, SCHILLER, SIEGFRIED, .. NAT, MILDE, FALK, HEINE, ANDREAS, SCHMIDT, HORST NAT, FENDLER, REINHARD. DR
Year of Publication 14.12.1995
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Year of Publication 14.12.1995
Patent
Einrichtung zum Behandeln von Substraten im Plasma
HEISIG, ULLRICH. NAT, STUDENT, HANS-JOCHEN, WEBER, ULF, GOEDICKE, KLAUS, SCHILLER, SIEGFRIED, .. NAT, MILDE, FALK, HEINE, ANDREAS, SCHMIDT, HORST NAT, FENDLER, REINHARD. DR
Year of Publication 14.12.1995
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Year of Publication 14.12.1995
Patent
Verfahren zur Einstellung des Arbeitspunktes beim reaktiven DC-Hochratesputtern
STRUEMPFEL, JOHANNES, HEISIG, ULLRICH. NAT, VETTERS, PETER, KIRCHHOFF, VOLKER, BEISTER, GUENTHER. NAT, HILPRECHT, BERND, KRUEGER, MANFRED. DR, SCHILLER, SIEGFRIED, .. NAT, MELDE, CHRISTIAN, SCHNEIDER, SIEGFRIED, SCHICHT, HEINZ. NAT
Year of Publication 04.08.1994
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Year of Publication 04.08.1994
Patent
DE3244416
HILDEBRAND, HAGEN-MIN, BECKER, HANS-JOACHIM. DR, SCHILLER, SIEGFRIED MARIA, ...NAT, DDR 8051 DRESDEN, DD, SZYMANSKI, ULRICH, BEISTER, GUENTHER., DDR 8056 DRESDEN, DD, KRUEGER, MANFRED. DR, NEDON, WOLFGANG., DDR 8060 DRESDEN, DD, MURSCH, JUERGEN., DDR 7290 TORGAU, DD, FICHTNER, WOLFGANG., DDR 7900 FALKENBERG, DD, SCHICHT, HEINZ., DDR 7901 BETHAU, DD, LEUTERITZ, REINER. DR., DDR 7290 TORGAU, DD, HECHT, CHRISTIAN., DDR 8256 WEINBOEHLA, DD, ROTH, HERBERT., DDR 8010 DRESDEN, DD
Year of Publication 15.02.1990
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Year of Publication 15.02.1990
Patent
Device for high-rate atomization using the plasmatron principle
GOEDICKE,KLAUS, SPREITZ,VOLKMAR, HEISIG,ULLRICH,.ER.NAT, SCHILLER,SIEGFRIED,.ER.,NAT, ERBKAMM,WOLFGANG, KUEHN,GERHARD,.DR, HARTUNG,JOHANNES
Year of Publication 21.04.1983
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Patent