The first neutron interferometer built of holographic gratings
Schellhorn, Uwe, Rupp, Romano A., Breer, Stefan, May, Roland P.
Published in Physica. B, Condensed matter (01.06.1997)
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Journal Article
PROJECTION EXPOSURE APPARATUS COMPRISING A MANIPULATOR SYSTEM
LEUERMANN, Martin, LANGENHORST, Malte, DJURIC-RISSNER, Ferdinand, SCHELLHORN, Uwe, FUCHS, Sebastian
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Strahlregelungsvorrichtung für einen Beleuchtungsstrahl, optisches System mit einer derartigen Strahlregelungsvorrichung sowie Metrologiesystem mit einem eine solche Strahlregelungsvorrichtung enthaltenden optischen System
Schellhorn, Uwe, Dr, Krebs, Marten, Huber, Gerhard, Stühler, Joachim, Dr
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Projektionsbelichtungsanlage mit einem Manipulatorsystem
Fuchs, Sebastian, Schellhorn, Uwe, Leuermann, Martin, Djuric-Rissner, Ferdinand, Langenhorst, Malte
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Projection exposure apparatus comprising a manipulator system
FUCHS, SEBASTIAN, DJURIC-RISSNER, FERDINAND, SCHELLHORN, UWE, LEUERMANN, MARTIN, LANGENHORST, MALTE
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Patent