Application of static masking technique in magnetron sputtering technology for the production of linearly variable filters
Begou, Thomas, Lemarquis, Frédéric, Moreau, Antonin, Lemarchand, Fabien, Reus, Holger, Arhilger, Detlef, Hagedorn, Harro, Lumeau, Julien
Published in CEAS space journal (01.04.2022)
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Journal Article
High precision optical filter based on magnetron sputtering
Biethan, Jens‐Peter, Arhilger, Detlef, Pistner, Jürgen, Reus, Holger, Stapp, Martin, Hagedorn, Harro
Published in Vakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten (01.08.2017)
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Journal Article
High precision optical filter based on magnetron sputtering: Direct coating on glass and silicon wafers
Biethan, Jens‐Peter, Arhilger, Detlef, Pistner, Jürgen, Reus, Holger, Stapp, Martin, Hagedorn, Harro
Published in Vakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten (01.08.2017)
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Journal Article
High precision optical filter based on magnetron sputtering
Biethan, Jens-Peter, Arhilger, Detlef, Pistner, Jurgen, Reus, Holger, Stapp, Martin, Hagedorn, Harro
Published in Vakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten (01.08.2017)
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Journal Article
EXTRACTION GRID
MÜLLER, Dirk, REUS, Holger, LIU, Simon, REPPIN, Daniel, HAGEDORN, Harro
Year of Publication 18.01.2024
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Year of Publication 18.01.2024
Patent
EXTRACTION GRID
REPPIN, DANIEL, LIU, SIMON, REUS, HOLGER, MULLER, DIRK, HAGEDORN, HARRO
Year of Publication 02.06.2022
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Year of Publication 02.06.2022
Patent
Extraction grid, plasma source and coating device using the same and related use
REPPIN, DANIEL, LIU, SIMON, REUS, HOLGER, MULLER, DIRK, HAGEDORN, HARRO
Year of Publication 11.01.2024
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Year of Publication 11.01.2024
Patent
EXTRACTION GRID
MÜLLER, Dirk, REUS, Holger, LIU, Simon, REPPIN, Daniel, HAGEDORN, Harro
Year of Publication 02.06.2022
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Year of Publication 02.06.2022
Patent
EXTRACTION GRID
MÜLLER, Dirk, REUS, Holger, LIU, Simon, REPPIN, Daniel, HAGEDORN, Harro
Year of Publication 01.06.2022
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Year of Publication 01.06.2022
Patent
Extraction grid
REPPIN, DANIEL, LIU, SI-MON, REUS, HOLGER, MULLER, DIRK, HAGEDORN, HARRO
Year of Publication 01.07.2022
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Year of Publication 01.07.2022
Patent