Search Results - "RAFAC ROBERT JAY" :: K.UTB vyhledávací portál | TBU Library Retrieval Portal

EUV 광원 타겟 계측

EUV 광원 타겟 계측

by RAFAC ROBERT JAY
Year of Publication 27.03.2023

Get full text

Patent

극자외선 광원 내의 타겟의 이동 특성을 결정하는 방법

극자외선 광원 내의 타겟의 이동 특성을 결정하는 방법

by RAFAC ROBERT JAY
Year of Publication 30.09.2021

Get full text

Patent

TARGET EXPANSION RATE CONTROL IN AN EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT SOURCE

TARGET EXPANSION RATE CONTROL IN AN EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT SOURCE

by RIGGS DANIEL JASON, RAFAC ROBERT JAY
Year of Publication 02.02.2024

Get full text

Patent

광학 시스템에서 물리적 효과의 보상 방법

광학 시스템에서 물리적 효과의 보상 방법

by RAFAC ROBERT JAY
Year of Publication 15.07.2019

Get full text

Patent

선량 제어 기능이 있는 EUV LPP 소스 및 가변폭 레이저 펄스를 사용한 레이저 안정화 기술

선량 제어 기능이 있는 EUV LPP 소스 및 가변폭 레이저 펄스를 사용한 레이저 안정화 기술

by FOMENKOV IGOR VLADIMIROVICH, RAFAC ROBERT JAY
Year of Publication 28.06.2019

Get full text

Patent

EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT SOURCE

EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT SOURCE

by BROWN DANIEL JOHN WILLIAM, RAFAC ROBERT JAY, HOU KAI CHUNG, SANDSTROM RICHARD LYNNE
Year of Publication 01.08.2022

Get full text

Patent

LPP EUV 광 소스 내의 레이저 발화를 제어하는 시스템 및 방법

LPP EUV 광 소스 내의 레이저 발화를 제어하는 시스템 및 방법

by RIGGS DANIEL JASON, RAFAC ROBERT JAY
Year of Publication 20.04.2018

Get full text

Patent

극자외 광원 내에서의 타겟 팽창 속도 제어 방법

극자외 광원 내에서의 타겟 팽창 속도 제어 방법

by RIGGS DANIEL JASON, RAFAC ROBERT JAY
Year of Publication 16.04.2018

Get full text

Patent

레이저 에너지 변조를 통해 액적-플라스마 상호작용을 안정화하는 시스템 및 방법

레이저 에너지 변조를 통해 액적-플라스마 상호작용을 안정화하는 시스템 및 방법

by RIGGS DANIEL JASON, RAFAC ROBERT JAY
Year of Publication 16.04.2018

Get full text

Patent

ＥＵＶ 소스를 위한 액적 생성기에서 액적을 가속시키는 장치 및 방법

ＥＵＶ 소스를 위한 액적 생성기에서 액적을 가속시키는 장치 및 방법

by ERSHOV ALEXANDER IGOREVICH, DRIESSEN THEODORUS WILHELMUS, TREES DIETMAR UWE HERBERT, VASCHENKO GEORGIY OLEGOVICH, RAFAC ROBERT JAY, LUKENS JOSHUA MARK, RAJYAGURU CHIRAG
Year of Publication 27.02.2023

Get full text

Patent

광 방출 모니터링

광 방출 모니터링

by BROWN DANIEL JOHN WILLIAM, FOMENKOV IGOR VLADIMIROVICH, STEWART IV JOHN TOM, TAO YEZHENG, RAFAC ROBERT JAY
Year of Publication 28.06.2021

Get full text

Patent

극자외 광원 내의 대상물에 대한 플라즈마의 영향을 감소시키는 기술

극자외 광원 내의 대상물에 대한 플라즈마의 영향을 감소시키는 기술

by STEWART JOHN TOM, RAFAC ROBERT JAY, LA FORGE ANDREW DAVID
Year of Publication 12.12.2018

Get full text

Patent

파장 기반 광학 필터링

파장 기반 광학 필터링

by STINSON CORY ALAN, BROWN DANIEL JOHN WILLIAM, SCHAFGANS ALEXANDER ANTHONY, FOMENKOV IGOR VLADIMIROVICH, TAO YEZHENG, RAFAC ROBERT JAY, ROKISTSKI ROSTISLAV
Year of Publication 13.05.2019

Get full text

Patent

VARIABLE RADIUS MIRROR DICHROIC BEAM SPLITTER MODULE FOR EXTREME ULTRAVIOLET SOURCE

VARIABLE RADIUS MIRROR DICHROIC BEAM SPLITTER MODULE FOR EXTREME ULTRAVIOLET SOURCE

by SCHAFGANS ALEXANDER ANTHONY, PURVIS MICHAEL ANTHONY, RAFAC ROBERT JAY, ZHANG KEVIN WEIMIN
Year of Publication 28.08.2017

Get full text

Patent

EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT SOURCE

EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT SOURCE

by BROWN DANIEL JOHN WILLIAM, RAFAC ROBERT JAY, HOU KAI CHUNG, SANDSTROM RICHARD LYNNE
Year of Publication 23.09.2016

Get full text

Patent

EUV LIGHT SOURCE TARGET METROLOGY

EUV LIGHT SOURCE TARGET METROLOGY

by Rafac, Robert Jay
Year of Publication 21.09.2023

Get full text

Patent

Determining moving properties of a target in an extreme ultraviolet light source

Determining moving properties of a target in an extreme ultraviolet light source

by Rafac, Robert Jay
Year of Publication 12.09.2023

Get full text

Patent

DETERMINING MOVING PROPERTIES OF A TARGET IN AN EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT SOURCE

DETERMINING MOVING PROPERTIES OF A TARGET IN AN EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT SOURCE

by Rafac, Robert Jay
Year of Publication 17.03.2022

Get full text

Patent

Laser system for target metrology and alteration in an EUV light source

Laser system for target metrology and alteration in an EUV light source

by Rafac, Robert Jay, Fomenkov, Igor Vladimirovich
Year of Publication 03.09.2024

Get full text

Patent

DETERMINING MOVING PROPERTIES OF A TARGET IN AN EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT SOURCE

DETERMINING MOVING PROPERTIES OF A TARGET IN AN EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT SOURCE

by ROBERT JAY RAFAC
Year of Publication 18.08.2020

Get full text

Patent

1
2
3
4
5
6
7
Next
[7]