High precision optical filter based on magnetron sputtering
Biethan, Jens‐Peter, Arhilger, Detlef, Pistner, Jürgen, Reus, Holger, Stapp, Martin, Hagedorn, Harro
Published in Vakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten (01.08.2017)
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Journal Article
High precision optical filter based on magnetron sputtering: Direct coating on glass and silicon wafers
Biethan, Jens‐Peter, Arhilger, Detlef, Pistner, Jürgen, Reus, Holger, Stapp, Martin, Hagedorn, Harro
Published in Vakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten (01.08.2017)
Published in Vakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten (01.08.2017)
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Journal Article
METHOD AND APPARATUS FOR PRODUCING A REFLECTION REDUCING LAYER ON A SUBSTRATE
SCHERER, Michael, KLOSCH-TRAGESER, Michael, PISTNER, Jürgen, HAGEDORN, Harro
Year of Publication 12.07.2023
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Year of Publication 12.07.2023
Patent
METHOD AND APPARATUS FOR PRODUCING A REFLECTION REDUCING LAYER ON A SUBSTRATE
SCHERER, MICHAEL, PISTNER, JÜRGEN, KLOSCH-TRAGESER, MICHAEL, HAGENDORN, HARRO
Year of Publication 06.08.2014
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Year of Publication 06.08.2014
Patent
High precision optical filter based on magnetron sputtering
Biethan, Jens-Peter, Arhilger, Detlef, Pistner, Jurgen, Reus, Holger, Stapp, Martin, Hagedorn, Harro
Published in Vakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten (01.08.2017)
Published in Vakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten (01.08.2017)
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Journal Article
Method for producing a multilayer coating and device for carrying out said method
Lehnert, Walter, Pistner, Jurgen, Roder, Mario, Scherer, Michael, Hagedorn, Harro, Deppisch, Gerd
Year of Publication 17.09.2019
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Year of Publication 17.09.2019
Patent