MICROMECHANICAL RELAY DEVICE AND METHOD FOR OPERATING A MICROMECHANICAL RELAY DEVICE
GUGEL, Denis, REINMUTH, Jochen, LEWIS, Matthew, POPPO, Marc, ECKSTEIN, Rainer
Year of Publication 02.06.2022
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Year of Publication 02.06.2022
Patent
Mikromechanische Relaisvorrichtung und Verfahren zum Betreiben einer mikromechanischen Relaisvorrichtung
Lewis, Matthew, Poppo, Marc, Reinmuth, Jochen, Eckstein, Rainer, Gugel, Denis
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