하이브리드 레이저 스크라이빙 및 플라즈마 에칭 방식을 사용한 웨이퍼 다이싱에서 레이저 스크라이빙 트렌치 개구 제어
TAN ZAVIER ZAI YEONG, BALAKRISHNAN KARTHIK, PARK JUNGRAE, PAPANU JAMES S, LEI WEI SHENG
Year of Publication 27.02.2023
Get full text
Year of Publication 27.02.2023
Patent
레이저 다이싱을 위한 자동 커프 오프셋 매핑 및 보정 시스템
TAN ZAVIER ZAI YEONG, ABHINAND SAI, BALAKRISHNAN KARTHIK, PARK JUNGRAE, PAPANU JAMES S
Year of Publication 24.02.2023
Get full text
Year of Publication 24.02.2023
Patent
표면 친수성을 향상시키기 위한 수증기 플라즈마
SAHMUGANATHAN VICKNESH, SUNDARRAJAN ARVIND, MOHAMED HELMI ISIK NUR YASMEEN ADDINA, LIANTO PRAYUDI, SEE GUAN HUEI, BERGMAN ERIC J, SUDIJONO JOHN LEONARD, PAPANU JAMES S, YONG WEI YING DOREEN, LIM YIN WEI, GOH YI KUN KELVIN
Year of Publication 08.05.2024
Get full text
Year of Publication 08.05.2024
Patent
하이브리드 레이저 스크라이빙 및 플라즈마 에칭 웨이퍼 싱귤레이션 프로세스를 위한 감소된 전류 누설을 갖는 정전 척
KORASIDDARAMAIAH ONKARA, ABHINAND SAI, MEHTA GAURAV, THIRUNAVUKARASU SRI, RAJAPAKSA DIMANTHA, SORENSEN MICHAEL, PAPANU JAMES S, SUN CHENG, PEH ENG SHENG, ELUMALAI KARTHIK
Year of Publication 16.08.2022
Get full text
Year of Publication 16.08.2022
Patent
하이브리드 레이저 스크라이빙 및 플라즈마 식각 웨이퍼 싱귤레이션 프로세스를 위한 광흡수 마스크
LERNER ALEXANDER N, KUMAR PRABHAT, EATON BRAD, KUMAR AJAY, PAPANU JAMES S, LEI WEI SHENG, LI WENGUANG
Year of Publication 08.01.2020
Get full text
Year of Publication 08.01.2020
Patent
하이브리드 레이저 스크라이빙 및 플라즈마 식각 웨이퍼 싱귤레이션 프로세스를 위한 식각 마스크
LERNER ALEXANDER N, KUMAR PRABHAT, EATON BRAD, KRISHNAMURTHY RAMESH, KUMAR AJAY, PAPANU JAMES S, LI WENGUANG
Year of Publication 24.12.2018
Get full text
Year of Publication 24.12.2018
Patent
CLEANING OF NATIVE OXIDE WITH HYDROGEN-CONTAINING RADICALS
KAO CHIEN TEH, MOSELY RODERICK C, KAWAGUCHI MARK N, LAI CHIUKUN STEVEN, WANG WEI W, PAPANU JAMES S, AL HUA, WOOD BINGXI SUN
Year of Publication 27.06.2012
Get full text
Year of Publication 27.06.2012
Patent
CLEANING OF NATIVE OXIDE WITH HYDROGEN-CONTAINING RADICALS
KAO CHIEN TEH, MOSELY RODERICK C, KAWAGUCHI MARK N, LAI CHIUKUN STEVEN, WANG WEI W, PAPANU JAMES S, AL HUA, WOOD BINGXI SUN
Year of Publication 08.07.2011
Get full text
Year of Publication 08.07.2011
Patent