Yaw-rate sensor with a substrate having a main plane of extent, production method for a yaw-rate sensor
DEGENFELD-SCHONBURG, PETER, KUEHNEL, MATTHIAS, KUHLMANN, NILS FELIX, NEUL, REINHARD, KUHLMANN, BURKHARD, LASSL, ANDREAS, BODE, NIELS, LIEWALD, JAN-TIMO
Year of Publication 16.07.2019
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Year of Publication 16.07.2019
Patent
MEMS-Vorrichtung sowie entsprechendes Betriebsverfahren
Schatz, Frank, Neul, Reinhard, Kuhlmann, Nils Felix, Lassl, Andreas, Kuehnel, Matthias, Bode, Niels, Degenfeld-Schonburg, Peter
Year of Publication 19.07.2018
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Year of Publication 19.07.2018
Patent
YAW-RATE SENSOR WITH A SUBSTRATE HAVING A MAIN PLANE OF EXTENT, PRODUCTION METHOD FOR A YAW-RATE SENSOR
NEUL, Reinhard, KUHLMANN, Burkhard, BODE, Niels, KUEHNEL, Matthias, LASSL, Andreas, KUHLMANN, Nils Felix, DEGENFELD-SCHONBURG, Peter, LIEWALD, Jan-Timo
Year of Publication 16.05.2019
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Year of Publication 16.05.2019
Patent
CAPTEUR DE VITESSE DE ROTATION COMPORTANT UN SUBSTRAT AVEC UN PLAN PRINCIPAL D'EXTENSION AINSI QU'UN PROCEDE DE FABRICATION D'UN CAPTEUR DE VITESSE DE ROTATION
DEGENFELD-SCHONBURG, PETER, KUHLMANN, NILS FELIX, KUEHBEL, MATTHIAS, NEUL, REINHARD, KUHLMANN, BURKHARD, LASSL, ANDREAS, BODE, NIELS, LIEWALD, JAN-TIMO
Year of Publication 10.05.2019
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Year of Publication 10.05.2019
Patent
Drehratensensor mit einem eine Haupterstreckungsebene aufweisenden Substrat, Herstellungsverfahren für einen Drehratensensor
Liewald, Jan-Timo, Neul, Reinhard, Kuhlmann, Burkhard, Kuhlmann, Nils Felix, Lassl, Andreas, Kuehnel, Matthias, Bode, Niels, Degenfeld-Schonburg, Peter
Year of Publication 09.05.2019
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Year of Publication 09.05.2019
Patent
THREE-AXIS MICROMECHANICAL ROTATION RATE SENSOR ARRANGEMENT HAVING SENSOR DEVICES WHICH CAN BE DRIVEN IN A LINEAR AND ROTATORY MANNER
KUHLMANN NILS FELIX, LASSL ANDREAS, KUEHNEL MATTHIAS, PRUETZ ODD-AXEL, NEUL REINHARD, DEGENFELD-SCHONBURG PETER, LIEWALD JAN-TIMO, BODE NIELS, KUHLMANN BURKHARD
Year of Publication 21.04.2020
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Year of Publication 21.04.2020
Patent
YAW-RATE SENSOR, METHOD FOR PRODUCING A YAW-RATE SENSOR
KUHLMANN NILS FELIX, LASSL ANDREAS, KUEHNEL MATTHIAS, PRUETZ ODD-AXEL, NEUL REINHARD, DEGENFELD-SCHONBURG PETER, LIEWALD JAN-TIMO, BODE NIELS, KUHLMANN BURKHARD
Year of Publication 10.04.2020
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Year of Publication 10.04.2020
Patent
YAW-RATE SENSOR
GOMEZ UDO-MARTIN, KOHN OLIVER, NEUL REINHARD, HAUER JOERG, CLASSEN JOHANNES, MEISEL DANIEL CHRISTOPH, FRANKE AXEL, KUHLMANN BURKHARD, KEHR KERSTEN, OHMS TORSTEN
Year of Publication 06.11.2014
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Year of Publication 06.11.2014
Patent
Bauteil mit zwei Halbleiter-Bauelementen, zwischen denen mindestens zwei hermetisch dichte Kavernen ausgebildet sind, und Verfahren zum Herstellen einer entsprechenden Bondverbindung zwischen zwei Halbleiter-Bauelementen
TEBJE, LARS, STAHL, HEIKO, NEUL, REINHARD, HEUCK, FRIEDJOF, GONSKA, JULIAN
Year of Publication 17.12.2015
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Year of Publication 17.12.2015
Patent
Bauteil mit zwei Halbleiter-Bauelementen, zwischen denen mindestens zwei hermetisch dichte Kavernen mit unterschiedlichen Innendrücken ausgebildet sind, und Verfahren zum Herstellen eines solchen Bauteils
TEBJE, LARS, STAHL, HEIKO, NEUL, REINHARD, HEUCK, FRIEDJOF, GONSKA, JULIAN
Year of Publication 17.12.2015
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Year of Publication 17.12.2015
Patent
MICROMECHANICAL YAW RATE SENSOR AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF
HEUCK FRIEDJOF, MAUL ROBERT, SCHMIDT BENJAMIN, HATTASS MIRKO, PRUETZ ODD-AXEL, NEUL REINHARD, SCHEBEN ROLF, HOEPPNER CHRISTIAN, OHMS TORSTEN
Year of Publication 24.08.2018
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Year of Publication 24.08.2018
Patent