LASER SEALING METHODS FOR CLOSING VENTHOLES OF MICROMECAHNICAL DEVICES
FREY, Jens, RUMPF, Holger, KARG, Stephanie, CHENG, Bo, MENOLD, Tobias Joachim, TUFFILE, Charles
Year of Publication 11.07.2024
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Year of Publication 11.07.2024
Patent
LASER SEALING METHODS FOR CLOSING VENTHOLES OF MICROMECAHNICAL DEVICES
FREY, Jens, RUMPF, Holger, KARG, Stephanie, CHENG, Bo, MENOLD, Tobias Joachim, TUFFILE, Charles
Year of Publication 25.04.2024
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Patent
Method for sealing entries in a MEMS element
Hermes, Christoph, Artmann, Hans, Schmollngruber, Peter, Menold, Tobias Joachim, Ametowobla, Mawuli, Weber, Heribert, Friedrich, Thomas
Year of Publication 26.12.2023
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Patent
METHOD FOR SEALING ENTRIES IN A MEMS ELEMENT
Hermes, Christoph, Artmann, Hans, Schmollngruber, Peter, Menold, Tobias Joachim, Ametowobla, Mawuli, Weber, Heribert, Friedrich, Thomas
Year of Publication 06.01.2022
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Patent
Verfahren zur Laserbearbeitung von transparenten Materialien
Ramsayer, Reiner, Nyenhuis, Fabian, Ametowobla, Mawuli, Menold, Tobias Joachim
Year of Publication 03.11.2022
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Patent
Laserversiegelungsverfahren zum Schließen von Lüftungslöchern von Mikromechanischen Vorrichtungen
Cheng, Bo, Frey, Jens, Karg, Stephanie, Tuffile, Charles, Rumpf, Holger, Menold, Tobias Joachim
Year of Publication 25.04.2024
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Patent
Vorrichtung zum Befüllen einer Dampfzelleneinrichtung mit einem Gas, Verfahren zum Herstellen einer mit einem Gas befüllten Dampfzelleneinrichtung, und Dampfzelleneinrichtung
Fuchs, Tino, Frey, Peter, Riedrich-Moeller, Janine, Ametowobla, Mawuli, Brenneis, Andreas, Menold, Tobias Joachim, Roelver, Robert
Year of Publication 18.11.2021
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Patent
METHOD FOR SEALING ACCESSES IN A MEMS ELEMENT
ALTMANN HAGEN, FRIEDRICH THOMAS, SCHMOLLNGRUBER PETER, AMETOWOBLA MAWULI, MENOLD TOBIAS JOACHIM, HERMES CHRISTOPH, WEBER HEIKE
Year of Publication 30.07.2021
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Patent
Verfahren zum Ausbilden eines Bauteileverbunds und Bauteileverbund
Wehle, Michael, Schaenzel, Michael, Menold, Tobias Joachim, Roderus, Michael
Year of Publication 11.07.2019
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Patent
METHOD FOR SEALING ACCESSES IN A MEMS ELEMENT
SCHMOLLNGRUBER, Peter, FRIEDRICH, Thomas, MENOLD, Tobias Joachim, ARTMANN, Hans, AMETOWOBLA, Mawuli, WEBER, Heribert, HERMES, Christoph
Year of Publication 25.06.2020
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Patent
Verfahren zum Verschließen von Zugängen in einem MEMS-Element
Hermes, Christoph, Schmollngruber, Peter, Artmann, Hans, Menold, Tobias Joachim, Ametowobla, Mawuli, Friedrich, Thomas, Weber, Heribert
Year of Publication 25.06.2020
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Year of Publication 25.06.2020
Patent
Verfahren und Vorrichtung zum generativen Herstellen eines Bauteils
Mikhaylov, Dmitriy, Wehle, Michael, Schaenzel, Michael, Menold, Tobias Joachim, Shakirov, Damir
Year of Publication 21.11.2019
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Patent
Säuberungsvorrichtung, Anlage mit der Säuberungsvorrichtung und Verfahren
Mikhaylov, Dmitriy, Wehle, Michael, Schaenzel, Michael, Menold, Tobias Joachim, Shakirov, Damir
Year of Publication 31.10.2019
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Year of Publication 31.10.2019
Patent