Optische Baugruppe sowie Verfahren zu deren Herstellung, Verfahren zur Deformation eines optischen Elements und Projektionsbelichtungsanlage
Lippert, Johannes, Bleidistel, Sascha, Vogler, Alexander, Raab, Markus, Manger, Matthias, Witt, Axel, Raba, Andreas, Loopstra, Erik
Year of Publication 22.09.2022
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Year of Publication 22.09.2022
Patent
Projection exposure apparatus and method for designing a component of a projection exposure apparatus
RAAB, MARKUS, KELLER, BASTIAN, SCHREZENMEIER, IRINA, POLLAK, THILO, OSTENDORF, ALEXANDER, TSCHISCHGALE, JOERG, BAUEREGGER, STEFAN, MANGER, MATTHIAS, BADER, DIETER, BELJAKOV, ANDREAS, DUERR, DIETMAR
Year of Publication 01.07.2024
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Patent
Messvorrichtung zur Vermessung und Überwachung mindestens eines Laserstrahls, Strahlführungssystem zur Führung mindestens eines Laserstrahls mit einer derartigen Messvorrichtung sowie Verwendung einer derartigen Messvorrichtung
Enzmann, Andreas, Wieland, Hans-Ulrich, Schlemmer, Harry, Lambert, Martin, Manger, Matthias, Neumann, Tanja, Dinger, Udo, Dr, Baumer, Florian, Schilling, Alexa, van Dorp, Bas
Year of Publication 16.05.2024
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Year of Publication 16.05.2024
Patent
Projection exposure apparatus and method for designing a component of a projection exposure apparatus
RAAB, MARKUS, KELLER, BASTIAN, SCHREZENMEIER, IRINA, POLLAK, THILO, OSTENDORF, ALEXANDER, TSCHISCHGALE, JOERG, BAUEREGGER, STEFAN, MANGER, MATTHIAS, BADER, DIETER, BELJAKOV, ANDREAS, DUERR, DIETMAR
Year of Publication 01.04.2024
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Patent
PROJECTION EXPOSURE SYSTEM AND TEMPERATURE CONTROL DEVICE
MANGER, Matthias, RABA, Andreas, KRUEGER, Karsten, LIPPERT, Johannes, RAAB, Markus, BAUEREGGER, Stefan
Year of Publication 10.02.2022
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Year of Publication 10.02.2022
Patent
Projektionsbelichtungsanlage mit Temperiervorrichtung
Lippert, Johannes, Krüger, Karsten, Baueregger, Stefan, Raab, Markus, Manger, Matthias, Raba, Andreas
Year of Publication 10.02.2022
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Year of Publication 10.02.2022
Patent
Projection exposure apparatus and method for designing a component of a projection exposure apparatus
RAAB, MARKUS, KELLER, BASTIAN, SCHREZENMEIER, IRINA, POLLAK, THILO, OSTENDORF, ALEXANDER, TSCHISCHGALE, JOERG, BAUEREGGER, STEFAN, MANGER, MATTHIAS, BADER, DIETER, BELJAKOV, ANDREAS, DUERR, DIETMAR
Year of Publication 01.02.2023
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Patent
METHOD FOR PRODUCING A REFLECTING OPTICAL ELEMENT OF A PROJECTION EXPOSURE APPARATUS AND REFLECTING OPTICAL ELEMENT FOR A PROJECTION EXPOSURE APPARATUS, PROJECTION LENS AND PROJECTION EXPOSURE APPARATUS
KAS MATTHIAS, BEZOLD STEFFEN, MANGER MATTHIAS, PETRI CHRISTOPH, ALEXEEV PAVEL, PAULS WALTER
Year of Publication 30.03.2021
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Patent
Komponente für eine Projektionsbelichtungsanlage für die Halbleiterlithografie und Verfahren zur Auslegung der Komponente
Pollak, Thilo, Tschischgale, Jörg, Dürr, Dietmar, Baueregger, Stefan, Raab, Markus, Manger, Matthias, Schrezenmeier, Irina, Ostendorf, Alexander, Beljakov, Andreas, Bader, Dieter, Keller, Bastian
Year of Publication 01.12.2022
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Year of Publication 01.12.2022
Patent