Mikroelektromechanisches Bauelement, Verfahren zum Herstellen eines mikroelektromechanischen Bauelements und Verfahren zum Herstellen eines Systems auf einem Chip unter Verwendung eines CMOS-Prozesses
Stegemann, Maik, Froehlich, Heiko, Krautzsch, Thoralf, Vogt, Mirko, Bieselt, Steffen, Roeth, Andre
Year of Publication 18.10.2018
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Patent
Strahler und Verfahren zu dessen Herstellung
Stegemann, Maik, Kautzsch, Thoralf, Fröhlich, Heiko, Vogt, Mirko, Bieselt, Steffen
Year of Publication 20.10.2016
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Patent
Sensor structures, systems and methods with improved integration and optimized package
VOGT MIRKO, STEGEMANN MAIK, WINKLER BERNHARD, BINDER BORIS, FROEHLICH HEIKO, ROETH ANDRE, KAUTZSCH THORALF
Year of Publication 15.06.2018
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Patent
Drucksensorvorrichtung und Herstellungsverfahren
Stegemann, Maik, Kautzsch, Thoralf, Froehlich, Heiko, Vogt, Mirko, Haubold, Marco, Roeth, Andre
Year of Publication 18.01.2018
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Patent
Mikromechanisches System und Verfahren zum Herstellen eines mikromechanischen Systems
STEGEMANN, MAIK, BINDER, BORIS, KAUTZSCH, THORALF, FROEHLICH, HEIKO, VOGT, MIRKO
Year of Publication 31.12.2015
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Patent
Integriertes Halbleiterbauelement und Herstellungsverfahren
Stegemann, Maik, Kautzsch, Thoralf, Röth, Andre, Fröhlich, Heiko, Winkler, Bernhard, Scire, Alessia, Vogt, Mirko, Bieselt, Steffen
Year of Publication 19.01.2017
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Patent
Verfahren zur Bildung mindestens zweier Speicherzellen eines Halbleiterspeichers
GERNHARDT, STEFAN, STEGEMANN, MAIK, MORHARD, KLAUS-DIETER, SCHREMS, MARTIN
Year of Publication 18.10.2007
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Patent
METHOD FOR PRODUCTION OF A SEMICONDUCTOR STRUCTURE
GENZ, OLIVER, STEGEMANN, MAIK, WEGE, STEPHAN, SCHMIDT, BARBARA, REB, ALEXANDER, MACHILL, STEFAN, KIRCHHOFF, MARKUS, STAVREV, MOMTCHIL
Year of Publication 09.12.2009
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Patent
Systeme und Verfahren zur horizontalen Integration von Beschleunigungssensorstrukturen
FRÖHLICH, HEIKO, STEGEMANN, MAIK, RÖTH, ANDRE, KAUTZSCH, THORALF, VOGT, MIRKO, BIESELT, STEFFEN
Year of Publication 14.04.2016
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Patent
MICROMECHANICAL SYSTEM AND METHOD FOR MANUFACTURING A MICROMECHANICAL SYSTEM
VOGT MIRKO, STEGEMANN MAIK, BINDER BORIS, FROEHLICH HEIKO, BIESELT STEFFEN, KAUTZSCH THORALF
Year of Publication 23.03.2016
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Patent
Mikromechanisches System und Verfahren zum Herstellen eines mikromechanischen Systems
STEGEMANN, MAIK, BINDER, BORIS, KAUTZSCH, THORALF, FROEHLICH, HEIKO, VOGT, MIRKO, BIESELT, STEFFEN
Year of Publication 31.12.2015
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