Verfahren zum chemisch-mechanischen Polieren von Siliziumwafern
KAWAI, NAOKO, KAWABATA, KATSUMASA, LTAI, YASUYUKI, DEGROOT, MARTY W, QIAN, BAINIAN, JAMES, DAVID B, YEH, FENGJI, NAKANO, HIROYUKI, MURNANE, JAMES, MIYAMOTO, KAZUTAKA, YOSHIDA, KOICHI
Year of Publication 30.04.2015
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Year of Publication 30.04.2015
Patent
CHEMISCH-MECHANISCHE POLIERZUSAMMENSETZUNG ZUM POLIEREN VON SILIZIUMWAFERN UND DAMIT ZUSAMMENHÄNGENDE VERFAHREN
KAWAI, NAOKO, LTAI, YASUYUKI, PENTA, NARESH KUMAR, HABA, SHINICHI, MATSUSHITA, TAKAYUKI, OTA, YOSHIHARU, COOK, LEE MELBOURNE, NAKANO, HIROYUKI, NAKASHIMA, SAKIKO, TODA, TOMOYUKI, TERAMOTO, MASASHI, YOSHIDA, KOICHI
Year of Publication 02.04.2015
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