AETZMITTEL ZUM AETZEN VON SILIZIUMDIOXID AUF HALBLEITERMATERIALIEN
HERMANN,STEPHAN,DD, LOESCHCKE,KLAUS,DD, FISCHER,URSULA,DD, WITSCHAS,GERHARD,DD
Year of Publication 16.09.1987
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Patent
VERFAHREN ZUR RUECKSTANDSFREIEN STRUKTURIERUNG VON POLYSILIZIUMEBENEN
DOMURATH,MARINA,DD, LOHSE,MARION,DD, LOESCHCKE,KLAUS,DD, KALETTA,HARTMUT,DD, OTTO,WINFRIED,DD
Year of Publication 22.02.1989
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Patent
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON MEHRFARB-MIKROFILTERN
BOETTCHER,HORST,DD, ILLGEN,CLAUS,DD, LOESCHCKE,KLAUS,DD, KALETTA,HARTMUT,DD, FRITZ,TORSTEN,DD
Year of Publication 17.08.1988
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Patent