가스 전달 건전성 모니터링을 위한 파라미터 감지 및 컴퓨터 모델링
MAHAKALI ROHIT, OH JEONGHOON, PRABHU GOPALAKRISHNA B, MORADIAN ALA, SHENG SHURAN, RAMANATHAN KARTHIK, YUAN ZHENG, KELKAR UMESH MADHAV, L'HEUREUX JAMES OMER, ZHANG LIN
Year of Publication 22.05.2023
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Patent
반도체 프로세스 유출물들로부터의 아산화 질소의 플라즈마 저감
HO DUSTIN W, DOWNEY RYAN T, L'HEUREUX JAMES, YUAN ZHENG, VAN GOMPEL JOSEPH A
Year of Publication 20.09.2019
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Patent
가스 저감을 위한 방법 및 장치
ZENG JIBING, HOU DAVID MUQUING, COX MICHAEL S, WANG RONGPING, L'HEUREUX JAMES, YUAN ZHENG
Year of Publication 09.03.2018
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Patent