PARTICLE BEAM SYSTEM AND METHOD FOR OPERATING A PARTICLE OPTICAL UNIT
BENGESSER NICOLE, RIEDESEL CHRISTOF, THOMA ARNE, BENNER GERD, ZEIDLER DIRK, MULLER INGO, JACOBI JORG, KYNAST JURGEN, KEMEN THOMAS, DORING MARKUS
Year of Publication 16.12.2015
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Year of Publication 16.12.2015
Patent
Particle beam system and method for operating a particle optical unit
ZEIDLER, DIRK, KEMEN, THOMAS, DORING, MARKUS, KYNAST, JURGEN, RIEDESEL, CHRISTOF, BENGESSER, NICOLE, THOMA, ARNE, MULLER, INGO, BENNER, GERD, JACOBI, JORG
Year of Publication 16.03.2016
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Year of Publication 16.03.2016
Patent
Teilchenstrahlsystem und Verfahren zum Betreiben einer Teilchenoptik
Bengesser, Nicole, Riedesel, Christof, Döring, Markus, Benner, Gerd, Jacobi, Jörg, Zeidler, Dirk, Kemen, Thomas, Müller, Ingo, Kynast, Jürgen, Thoma, Arne
Year of Publication 22.03.2018
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Year of Publication 22.03.2018
Patent
Teilchenstrahlsystem und Verfahren zum Betreiben einer Teilchenoptik
Bengesser, Nicole, Riedesel, Christof, Döring, Markus, Benner, Gerd, Jacobi, Jörg, Zeidler, Dirk, Kemen, Thomas, Müller, Ingo, Kynast, Jürgen, Thoma, Arne
Year of Publication 24.08.2017
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Year of Publication 24.08.2017
Patent
Teilchenstrahlsystem und Verfahren zum Betreiben einer Teilchenoptik
DÖRING, MARKUS, ZEIDLER, DIRK, KEMEN, THOMAS, RIEDESEL, CHRISTOF, JACOBI, JÖRG, BENGESSER, NICOLE, THOMA, ARNE, MÜLLER, INGO, KYNAST, JÜRGEN, BENNER, GERD
Year of Publication 31.12.2015
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Year of Publication 31.12.2015
Patent