HiPIMS에 의해 향상된 접착력을 갖는 경질 탄소 코팅 및 그 제조방법
KERAUDY JULIEN, GUIMOND SEBASTIEN, DRABIK MARTIN, KRASSNITZER SIEGFRIED
Year of Publication 08.06.2023
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Year of Publication 08.06.2023
Patent
금속 타겟으로부터 PVD에 의해 제조된 Al-풍부한 AlTiN 코팅층
YALAMANCHILI SIVA PHANI KUMAR, KRASSNITZER SIEGFRIED, EBERSOLD MARIJANA MIONIC
Year of Publication 02.06.2023
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Year of Publication 02.06.2023
Patent
불소 플라즈마 에칭 공정에서 보호층으로 사용되는 탄소 도핑된 이트륨 옥시플루오라이드(C:Y-0-F) 층
KERAUDY JULIEN, KIRK MATTHEW PAUL, GUIMOND SEBASTIEN, KRASSNITZER SIEGFRIED, CONIFF JOHN
Year of Publication 23.06.2023
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Year of Publication 23.06.2023
Patent