n형 실리콘 단결정의 제조 방법, n형 실리콘 단결정의 잉곳, 실리콘 웨이퍼 및 에피택셜 실리콘 웨이퍼
MAEGAWA KOICHI, OGAWA FUKUO, NARUSHIMA YASUHITO, TSUTSUMI YUUJI, KAWAKAMI YASUFUMI
Year of Publication 29.11.2019
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Year of Publication 29.11.2019
Patent
n형 실리콘 단결정의 제조 방법, n형 실리콘 단결정의 잉곳, 실리콘 웨이퍼 및, 에피택셜 실리콘 웨이퍼
MAEGAWA KOICHI, OGAWA FUKUO, NARUSHIMA YASUHITO, KIHARA AYUMI, KAWAKAMI YASUFUMI
Year of Publication 08.11.2019
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Year of Publication 08.11.2019
Patent