METHOD FOR PRODUCING A REFLECTING OPTICAL ELEMENT OF A PROJECTION EXPOSURE APPARATUS AND REFLECTING OPTICAL ELEMENT FOR A PROJECTION EXPOSURE APPARATUS, PROJECTION LENS AND PROJECTION EXPOSURE APPARATUS
MANGER, Matthias, KÄS, Matthias, PAULS, Walter, ALEXEEV, Pavel, BEZOLD, Steffen, PETRI, Christoph
Year of Publication 16.01.2020
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Year of Publication 16.01.2020
Patent
Verfahren zur Herstellung eines reflektierenden optischen Elementes einer Projektionsbelichtungsanlage und reflektierendes optisches Element für eine Projektionsbelichtungsanlage, Projektionsobjektiv und Projektionsbelichtungsanlage
Pauls, Walter, Alexeev, Pavel, Bezold, Steffen, Manger, Matthias, Käs, Matthias, Petri, Christoph
Year of Publication 16.01.2020
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Year of Publication 16.01.2020
Patent
METHOD FOR PRODUCING A REFLECTING OPTICAL ELEMENT OF A PROJECTION EXPOSURE APPARATUS AND REFLECTING OPTICAL ELEMENT FOR A PROJECTION EXPOSURE APPARATUS, PROJECTION LENS AND PROJECTION EXPOSURE APPARATUS
KAS MATTHIAS, BEZOLD STEFFEN, MANGER MATTHIAS, PETRI CHRISTOPH, ALEXEEV PAVEL, PAULS WALTER
Year of Publication 30.03.2021
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Year of Publication 30.03.2021
Patent
Verfahren zum Bestimmen, insbesondere zum Korrigieren, eines Strahlpositionierfehlers
Leicht, Daniel, Scheiderer, Philipp, Alexeev, Pavel, Schimpf, Lutz, Kaes, Matthias
Year of Publication 16.05.2024
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Year of Publication 16.05.2024
Patent