EINRICHTUNG ZUM BEDAMPFEN VON KALTLICHTSPIEGELN
GRABNER,DIETMAR,DL, HEISIG,ULLRICH,DL, STEINFELDER,KARL,DL, STRUEMPFEL,JOHANNES,DL
Year of Publication 14.12.1977
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Year of Publication 14.12.1977
Patent
VERFAHREN ZUM BEDAMPFEN STARK GEKRUEMMTER SUBSTRATE
GRABNER,DIETMAR,DL, HEISIG,ULLRICH,DL, STEINFELDER,KARL,DL, STRUEMPFEL,JOHANNES,DL
Year of Publication 07.12.1977
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Year of Publication 07.12.1977
Patent
VERFAHREN ZUM AUFBONDEN VON TARGETS FUER PLASMATRONQUELLEN
KORNDOERFER,CHRISTIAN,DD, HEISIG,ULLRICH,DD, STEINFELDER,KARL,DD, STRUEMPFEL,JOHANNES,DD, RUMBERG,HEINZ,DD
Year of Publication 08.10.1986
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Year of Publication 08.10.1986
Patent
VERFAHREN ZUM AUFBRINGEN VON VERBINDUNGSSCHICHTEN
SCHILLER,SIEGFRIED,DD, IVAN,HENDRIK,DD, HEISIG,ULLRICH,DD, STRUEMPFEL,JOHANNES,DD, STEINFELDER,KARL,DD
Year of Publication 08.10.1986
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Year of Publication 08.10.1986
Patent
EINRICHTUNG ZUR VERHINDERUNG VON UEBERSCHLAEGEN BEIM HOCHRATEZERSTAEUBEN
SCHILLER,SIEGFRIED,DD, KORNDOERFER,CHRISTIAN,DD, HEISIG,ULLRICH,DD, STEINFELDER,KARL,DD, STRUEMPFEL,JOHANNES,DD
Year of Publication 17.04.1985
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Patent
VORRICHTUNG ZUM BEFESTIGEN VON TARGETS
FELDHOFER,FRIEDHELM,DD, STEINFELDER,KARL,DD, STRUEMPFEL,JOHANNES,DD, SCHUBERT,GERHARD,DD, JOSEIT,JUERGEN,DD
Year of Publication 17.06.1981
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Patent
VERFAHREN ZUM REAKTIVEN AUFSTAEUBEN VON VERBINDUNGEN
SCHILLER,SIEGFRIED,DD, HEISIG,ULLRICH,DD, GOEDICKE,KLAUS,DD, STEINFELDER,KARL,DD, STRUEMPFEL,JOHANNES,DD
Year of Publication 16.07.1980
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Year of Publication 16.07.1980
Patent
VERFAHREN ZUM REAKTIVEN DC-PLASMATRON-SPUTTERN
SCHILLER,SIEGFRIED,DD, BEISTER,GUENTHER,DD, KORNDOERFER,CHRISTIAN,DD, HEISIG,ULLRICH,DD, RESCHKE,JONATHAN,DD, STRUEMPFEL,JOHANNES,DD, STEINFELDER,KARL,DD
Year of Publication 12.10.1988
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Patent
SCHICHTSYSTEM FUER WIDERSTANDSELEMENTE
WEISE,GUENTER,DD, SONNTAG,JOACHIM,DD, LANGE,FELIX,DD, GEHM,KLAUS,DD, BRUECKNER,WINFRIED,DD, STRUEMPFEL,JOHANNES,DD
Year of Publication 03.12.1986
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Year of Publication 03.12.1986
Patent
EINRICHTUNG ZUR KONTROLLE EINER PLASMATRONQUELLE
SCHILLER,SIEGFRIED,DD, IVAN,HENDRIK,DD, BAUER,REINHARDT,DD, HEISIG,ULLRICH,DD, STRUEMPFEL,JOHANNES,DD, STEINFELDER,KARL,DD, VETTERS,PETER,DD
Year of Publication 08.10.1986
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Patent
SCHICHTSYSTEM FUER WIDERSTANDSELEMENTE
WEISE,GUENTER,DD, SONNTAG,JOACHIM,DD, LANGE,FELIX,DD, GEHM,KLAUS,DD, BRUECKNER,WINFRIED,DD, STRUEMPFEL,JOHANNES,DD
Year of Publication 20.06.1984
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Year of Publication 20.06.1984
Patent