Charakterisierung eines parallelkinematisch aktuierten In-situ -Referenzmesssystems für 5D-Nanomess- und Fabrikationsanwendungen
Leineweber, Johannes, Hebenstreit, Roman, Häcker, Annika-Verena, Meyer, Christoph, Füßl, Roland, Manske, Eberhard, Theska, René
Published in Technisches Messen (26.02.2024)
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Charakterisierung eines parallelkinematisch aktuierten In-situ-Referenzmesssystems für 5D-Nanomess- und Fabrikationsanwendungen
Leineweber, Johannes, Hebenstreit, Roman, Häcker, Annika-Verena, Meyer, Christoph, Füßl, Roland, Manske, Eberhard, Theska, René
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