by Witvrouw, A., Haspeslagh, L., Pedreira, O.V., De Coster, J., De Wolf, I., Tilmans, H.A.C., Bearda, T., Schlatmann, B., van Bommel, M., de Nooijer, M.-C., Magnee, P.H.C., Lous, E.J., Hagting, M., Lauria, J., Vanneer, R., van Drieenhuizen, B.
Published in Journal of microelectromechanical systems (01.02.2010)

by M. HAGTING, P. H. G. VAN DE BERG, M. G. JANSEN
Year of Publication 25.11.1998