Substrathalter für scheiben-oder plattenförmige Substrate und Vakuumbehandlungsanlage mit einer vertikalen Substrattransporteinrichtung
HAGENSTROEM, HARALD, HUHN, MICHAEL, REHN, STANLEY, ZSCHIESCHANG, ERWIN, PROEHL, HOLGER, WAYDBRINK, HUBERTUS VON DER
Year of Publication 24.05.2012
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Patent
Substrathalter für scheiben-oder plattenförmige Substrate und Vakuumbehandlungsanlage mit einer vertikalen Substrattransporteinrichtung
HAGENSTROEM, HARALD, HUHN, MICHAEL, REHN, STANLEY, ZSCHIESCHANG, ERWIN, PROEHL, HOLGER, WAYDBRINK, HUBERTUS VON DER
Year of Publication 01.06.2011
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Year of Publication 01.06.2011
Patent
Substrate holder for disc- or plate-shaped substrate, comprises a basic structure with at least one substrate recorder, which exhibits a recording medium for at least one substrate, with a lower guide element and an upper guide element
HAGENSTROEM, HARALD, HUHN, MICHAEL, REHN, STANLEY, ZSCHIESCHANG, ERWIN, PROEHL, HOLGER, WAYDBRINK, HUBERTUS VON DER
Year of Publication 03.03.2011
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Year of Publication 03.03.2011
Patent