Verfahren zur Herstellung von Kontaktbalken mit reduzierter Randzonenkapazität in einem Halbleiterbauelement
HOENTSCHEL, JAN, SCHEIPER, THILO, WEI, ANDY, BEYER, SVEN, GRIEBENOW, UWE
Year of Publication 31.10.2012
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Year of Publication 31.10.2012
Patent
Transistor mit eingebetteten sigma-förmigen sequenziell hergestellten Halbleiterlegierungen
FLACHOWSKY, STEFAN, HOENTSCHEL, JAN, SCHEIPER, THILO, KRONHOLZ, STEPHAN DETLEF
Year of Publication 06.09.2012
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Year of Publication 06.09.2012
Patent