Gassensor und Verfahren zur Herstellung eines Gassensors
Schumann, Bernd, Ulmer, Heike, Kunz, Denis, Pantel, Daniel, Heuck, Friedjof
Year of Publication 01.06.2017
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Patent
Vertical Hybrid Integrated MEMS ASIC Component Having A Stress Decoupling Structure
REINMUTH JOCHEN, HEUCK FRIEDJOF, HATTASS MIRKO, KRAMER TORSTEN, NEUL REINHARD, REICHENBACH RALF, MEISEL DANIEL CHRISTOPH, TEBJE LARS, CLASSEN JOHANNES, PUYGRANIER ANTOINE
Year of Publication 10.12.2015
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Patent
MICROMECHANICAL PRESSURE SENSOR
HEUCK FRIEDJOF, MAUL ROBERT, FRIEDRICH THOMAS, LUKACS FERENC, SCHWARZ MIKE, DANNENBERG ARNE, GRUTZECK HELMUT, DOGEI TAMAS, SENZ VOLKMAR
Year of Publication 25.10.2019
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Patent
Bauteil mit zwei Halbleiter-Bauelementen, zwischen denen mindestens zwei hermetisch dichte Kavernen ausgebildet sind, und Verfahren zum Herstellen einer entsprechenden Bondverbindung zwischen zwei Halbleiter-Bauelementen
TEBJE, LARS, STAHL, HEIKO, NEUL, REINHARD, HEUCK, FRIEDJOF, GONSKA, JULIAN
Year of Publication 17.12.2015
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Year of Publication 17.12.2015
Patent
Bauteil mit zwei Halbleiter-Bauelementen, zwischen denen mindestens zwei hermetisch dichte Kavernen mit unterschiedlichen Innendrücken ausgebildet sind, und Verfahren zum Herstellen eines solchen Bauteils
TEBJE, LARS, STAHL, HEIKO, NEUL, REINHARD, HEUCK, FRIEDJOF, GONSKA, JULIAN
Year of Publication 17.12.2015
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Year of Publication 17.12.2015
Patent
Inertialsensor und Herstellungsverfahren zum Herstellen eines Inertialsensors
SCHELLING, CHRISTOPH, SCHMIDT, BENJAMIN, HOEPPNER, CHRISTIAN, HEUCK, FRIEDJOF, ROHLFING, FRANZISKA
Year of Publication 17.09.2015
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Year of Publication 17.09.2015
Patent
INERTIAL SENSOR AND MANUFACTURING METHOD FOR MANUFACTURE OF AN INERTIAL SENSOR
SCHELLING, CHRISTOPH, SCHMIDT, BENJAMIN, HOEPPNER, CHRISTIAN, HEUCK, FRIEDJOF, ROHLFING, FRANZISKA
Year of Publication 16.09.2015
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Year of Publication 16.09.2015
Patent
MICROMECHANICAL PRESSURE SENSOR
HEUCK, Friedjof, FRIEDRICH, Thomas, GRUTZECK, Helmut, SCHWARZ, Mike, SENZ, Volkmar, DANNENBERG, Arne, MAUL, Robert, LUKACS, Ferenc, DÖGEI, Tamas
Year of Publication 07.09.2018
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Year of Publication 07.09.2018
Patent
MICROMECHANICAL YAW RATE SENSOR AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF
HEUCK FRIEDJOF, MAUL ROBERT, SCHMIDT BENJAMIN, HATTASS MIRKO, PRUETZ ODD-AXEL, NEUL REINHARD, SCHEBEN ROLF, HOEPPNER CHRISTIAN, OHMS TORSTEN
Year of Publication 24.08.2018
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Year of Publication 24.08.2018
Patent
MICROMECHANICAL YAW RATE SENSOR AND METHOD FOR OPERATING SAME
HEUCK FRIEDJOF, MAUL ROBERT, SCHMIDT BENJAMIN, HATTASS MIRKO, PRUETZ ODD-AXEL, NEUL REINHARD, SCHEBEN ROLF, HOEPPNER CHRISTIAN, OHMS TORSTEN
Year of Publication 24.08.2018
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Patent
Feder für ein mikromechanisches System
DOESSEL, KERRIN, LUTZ, THERESA, PANTEL, DANIEL, HEUCK, FRIEDJOF, ROHLFING, FRANZISKA
Year of Publication 07.05.2015
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Year of Publication 07.05.2015
Patent
Assembly body for micromirror chips, mirror device and production method for a mirror device
HEUCK FRIEDJOF, SCHATZ FRANK, PINTER STEFAN, PANTEL DANIEL, DOESSEL KERRIN, ROHLFING FRANZISKA
Year of Publication 10.05.2017
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Patent
Mikromechanischer Drucksensor
Schwarz, Mike, Senz, Volkmar, Lukacs, Ferenc, Dannenberg, Arne, Grutzeck, Helmut, Maul, Robert, Heuck, Friedjof, Friedrich, Thomas, Dögei, Tamás
Year of Publication 18.01.2018
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Year of Publication 18.01.2018
Patent
Micromechanical rate-of-rotation sensor and operating method for the same
OHMS, TORSTEN, MAUL, ROBERT, HATTASS, MIRKO, SCHMIDT, BENJAMIN, HOEPPNER, CHRISTIAN, HEUCK, FRIEDJOF, PRUETZ, ODD-AXEL, NEUL, REINHARD, SCHEBEN, ROLF
Year of Publication 01.09.2017
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Year of Publication 01.09.2017
Patent